厂品详细情况
  • 产品名称:EPX500NE Edwards半导体高真空干泵

  • 产品型号:EPX500NE
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
EPX500NE Edwards半导体高真空干泵使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于7x10-5Torr的极限压力。 EPX500NE Edwards半导体高真空干泵用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。
详情介绍:
EPX500NE Edwards半导体行业高蒸空干泵综述
新的紧促型 EPX500 高高压气干泵的耐磨性指标是:工作任务耐磨性,启用成本费更低。 EPX500 使用的了的庇护机器设备,要从包标准气压抽真空到小于等于 7 x 10-5 Torr 的极限值负荷。
EPX NE 国产的泵具有着一名终用户组数的传感器 (EUC)。 确认终用户组数的传感器都可以做到孤立在使用的本地网的调节,并会对接到结构特征的网,以实行远程操作的调节和监看。


EPX500NE Edwards半导高涡流干泵应该用
负债锁
输送腔
PVD 溅射
灰化/PR 分离
电媒质刻蚀
EPX 系列作品分为的应用领域,从水进行处理到重度事业环境下的制造。

EPX“N”系类属于的可提供了氮擦拭的混合气体组件,才能可将用途规模改变为中档制造,这里类制造中预想长期存在的锈蚀性液体和粒子的层面较低。


EPX500NE Edwards半导高真空泵干泵效果和胜机
狭窄的土地征用大小 – 是都可以的辅助方式上泵之首,EPX 降低总成本了土地征用大小。EPX 都可以就直接装置到辅助方式上,若想降低总成本了前级通道和装置总成本,要需也可远战装置。
低正常运作代价 - EPX 仅需求 1.4 kW 的输出工作错误率和整合资源空闲形式 ,以此可大化输出工作错误率错误率。
的庇护机械制造系统设计 – EPX 可不能够从臭氧层压排空到泄压阀碳原子依据气压,并可不能够在进气口气压下不断工作中。
清洗机械性装置设备 – 传统式的高抽真空系统滚针轮毂轴承底润滑液润滑液油安全使用润滑液润滑液油润滑液,这可以加入生产工艺辅助工具中破坏源。EPX 泵不会有高抽真空系统滚针轮毂轴承底润滑液润滑液油,还有不会出现一些别的的自身破坏源。
– EPX 特征提取经现厂认可的 IPX ,具备着 13 年的 MTBFp (SEMI E10),每次大约每 5 年抢修以此,大限度地廷长了泵的实用期限。

可兼容的网ꦇ💟格 - EPX 系类配用终朋友抑制,可拼接到设计的网格,以参与测试优化跟踪和抑制。


EPX500NE Edwards半导体材料高真空泵干泵数据统计

基线快慢 500 m3h-1

295 ft3min-1

8338 lmin-1
极限法进口真空 <1 x 10-6 mbar

<7 x 10-7 Torr

<1 x 10-4 Pa
点火时段(可达标称能) 30 分钟左右
填报志愿系统法兰部 ISO160
法兰片 NW25
吵音 <59 dB(A)
制冷水流动速度 2 lmin-1
一系列冷却循环水室温 15 – 35°C
氢气供求插孔 1/4 in (6.5 mm) 管
惰性气体供应者水压 3 x 105 – 7 x 105 Pa
低氮含量 99.95%
外接电源供应者 200/208 V,50/60 Hz,3 相
极限值电功率 1.4 kW
三相异步电机电机额定电率电率 3.0 kW
TIM
体积 45.2 kg

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