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  • 产品名称:EPX500LE Edwards半导体高真空干泵

  • 产品型号:EPX500LE
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
EPX500LE Edwards半导体高真空干泵使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于7x10-5Torr的极限压力。 EPX500LE Edwards半导体高真空干泵用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。
详情介绍:
EPX500LE Edwards半导体材料高真空系统干泵简要
新的宽敞型 EPX500LE 高高压气干泵的属性是:作业性能参数,行驶资金更低。EPX500 用到了的维护机械设备装置设备,要能从大气磅礴压加制冷剂到高于 7 x 10-5 Torr 的级限各种压力。

接口化 EPX500LE系统设计受人颂扬、大💖获取得成功的 IPX 编,可给予的机械性能,与 IPX 相比之下,设计称重轻了 20%、质量变小了 30% 且公率变低了 40%。

EPX LE 系列的泵具有一个终用户控制器 (EUC)。通过终用户控制器可以实现独立使用的本地控制,并能够连接到结构的网络,以进行远程控制和监视。


EPX500LE Edwards半导体材料高蒸空干泵应用领域
EPX 产品系列包扩的应用,从水正确处理到重度的工作负债的工艺。
EPX“LE”国产宗旨在用做混凝土泵送惰性气态混合型喂养物(如加热器端差选择)且经由工艺机台接口协议提供数据操控的便于上班APP。

EPX500LE Edwards半导体设备高蒸空干泵基本功能和好处
紧奏型的土地征用赔偿表大小–身为可以选择的生产产品上泵之四,EPX 降低了土地征用赔偿表大小。EPX高压气泵可以简单装配使用到生产产品上,进而降低了前级管道网和装配使用利润,如果你需要也可跨网装配使用。
低正常运行资金-EPX真空体泵仅必须 1.4 kW的输出公率和组合空闲经济模式,因而可大化输出公率学习效率。
的守护机制配置–EPX干泵会从臭氧层压抽时间到涡轮增压大分子国家标准经济心理压力,并会在进气口经济心理压力下连续性工作的。
清扫自动化设备安装–传统式的高真空箱体轮毂联轴器底植物防锈油利用植物防锈油防锈,这或许当上工艺软件工具中空气污染破坏源。EPX 泵都没有高真空箱体轮毂联轴器底植物防锈油,有时候不有任意许多的隐藏的空气污染破坏源。
–EPX干泵 来源于经由场所认证的IPX,更具1四年的MTBFp(SEMI E10),大至每5年维修保养一回,大能力地延长时间了泵的便用平均寿命。

可兼容的网格-EPX系列的装ဣ有终消费者控住,能能接到设备构造的网格,🧔以开展确诊监控微信和控住。


EPX500LE Edwards半导体材料高高压气干泵数据资料

谷值极限速度 500 m3h-1

295 ft3min-1

8338 l min-1
级限抽真空

<1 x 10-6 mbar

<7 x 10-7 Torr

<1 x 10-4 Pa
升温时长(高于标称机械性能) 30 一分钟
渠道法兰片 ISO160
法兰盘 NW25
轰鸣声 <59 dB(A)
加热水流动速度 2 lmin-1
散热水水温 15 – 35°C
电源线供应者 200/208 V,50/60 Hz,3 相
上限公率 1.4 kW
变频电动机額定功效 3.0 kW
TIM
体积 45.2 kg

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