品牌情况
  • 产品名称:EPX180NE 爱德华半导体高真空干泵

  • 产品型号:EPX180NE
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
EPX180NE 爱德华半导体高真空干泵采用已获的单轴 Holweck® 分级机构, 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。 EPX180NE 爱德华半导体高真空干泵以极轻、极小的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。
详情介绍:
EPX180NE 爱德华半导高真空室干泵阐述
新的宽敞型EPX180NE高真空泵干泵的特质是:岗位应用性能,进行费用更低。EPX180应用了的养护自动化安装,可能从时尚压加制冷剂到少于7x10-5Torr的重力负担。

模块图片化EPX180NE 应用场景大受赞美、大获成功的 的IPX款型,可具备的稳定性,与IPX优于,木箱总更轻𝔉了20%、体积大小小 30% 且热效率调低了40%。

EPX NE 品类的泵更具两个终手机消费者管控器 (EUC)。 用终手机消费者管控器能能做到独立性施用的本土管控,并也能链接到形式的在线,以开始即远程管控和侵入。


EPX180NE 爱德华半导高真空系统干泵

🍸 EPX系列表干井式真空箱泵支撑便于和超轻型半导体材料处理广泛采用,如灰化/剥离技术和流入端点站广泛采用。

EPX编湿式重力作用泵以极轻、较小的二极管封装具备设备上混♔凝土输送泵性能,🏅可保持特别整洁的进口重力作用。EPX半导体行业高进口重力作用干泵按照已获的单轴Holweck®分级管理中介机构,也可以从豪迈压抽时间到大于7x10-7Torr的级限气压。 

EPX抽进口真空泵会以传感器化部件提供了增进的耐热性,既可集合到制造生产产品,又能否远程电脑安装使用。再者,进行集合的 MicroTIM光学传感器还能否与制造生产产品简单加入通讯网络连接方式。
EPX真空室设计的软件干泵设计的软件在包汽压和极致真空室设计的软件之間的负压下的工作,增压房间无进行润滑处理或胶封液。这种能够混凝土泵送设计的软件清洗,不可能正因为设计的软件的放气而使油或溶液循环到设计的软件中。
EPX干泵的定子和敞开式无刷电机用结合化油冷双回路实施空气冷凝。故此,EPX真空系统泵更适合是不不得利用散热器风扇的干净干燥室场景下利用。空气冷凝水现货供应和智能回水管用水线接头(由用户锁定)接连到泵。空气冷凝水的作为必需与场景前提条件(温湿度和湿度)相当于,尽可能会以达到结。
泵可装一款EMC销售过滤系统器和一款切换器动力,该动力可带来和管理泵电动无刷电机的电源适配器。前扣上的LED标记EPX进口水环真空泵的动态。电动无刷电机极限运行极限快速衡量于泵进气口处的工作负担值。当泵在进气口工作负担值长期处在或类似大气磅礴压的具体情况下开启时,电动无刷电机会加速器到某一极限运行极限快速,该极限运行极限快速受应该由切换器动力带来的直流电压约束。随着时间的推移进气口处的工作负担值变低,电动无刷电机极限运行极限快速会加速推进,直到该极限运行极限快速终以达到其相应的大极限运行极限快速。若果进气口处的工作负担值增长,则电动无刷电机极限运行极限快速会其次减慢。
EPX L产品的泵不许做全自动实行;这种泵需完成异常操控设施做操控和的控制,而操控设施需完成机器插口电源模块(TIM)进行连接到 EPX机械泵泵。
EPX高压气泵由三个振动模式隔離器确定扶持。
泵保护好感测器器可在存在机械故障状态下时全自动退出泵。


EPX180NE 爱德华半导体芯片高真空环境干泵用途

负载电阻锁
视频传输腔
PVD 溅射
灰化/PR 剥落
电媒介刻蚀

EPX系内容涵盖的用,从水除理到轻中度上班装载的生产工艺。

EPX“N”全系列具有个可带来氮的清洗的空气引擎,以此可将使用比率缩小为中级生ཧ产工艺,在这儿类生产工艺中预期的存在的的蚀化性过热🥂蒸汽和粒子的水平较低。


EPX180NE 爱德华半导体行业高重力作用干泵功效和特点
紧凑型suv的拆迁赔偿建筑规划建筑面积–充当快速可用的设备上泵之五,EPX高负压干泵合理利用了拆迁赔偿建筑规划建筑面积。EPX能能会装设使用到设备上,得以合理利用了前级通风管道和装设使用资金,只要要求也可远程控制装设使用。
低使用价格-EPX仅须要1.4 kW的工作马力和资源整合空闲经营模式,得以可大化工作马力能力。
的养护机诫系统设计–EPX 应该从大气层压加制冷剂到锅轮原子核基点重压,并应该在进气口重压下连续式工作的。
洁净机械设备设备–传统型的高抽真空体体滚动轴承套底植物脂肪油安全使用植物脂肪油防锈水,这将会成為生产工艺生产工具中空气污水排放。EPX高抽真空体体泵不可能的高抽真空体体滚动轴承套底植物脂肪油,但会不可能的随便另一个的因素空气污水排放。
–EPX高真空箱泵源于经现场视频核验的IPX,兼有1一年的MTBFp(SEMI E10),大概每5年维护保养多次,大度地变长了泵的食用使用时间。
可兼容的网路-EPX类型🀅干泵备有终消费者管控,能够 完成连接到节构的网路,以完成检查侵入和管控。


EPX180NE 爱德华半导体高真空干泵数据

最高值快慢 170 m3h-1

105 ft3min-1

2835 lmin-1
极致正空

<1 x 10-4 mbar

<7.5 x 10-5 Torr

<1 x 10-2 Pa
发动机预热时(完成标称特性) 30 一分钟
在口中卡箍 ISO63
蝶阀法兰 NW25
嗡嗡声 <59 dB(A)
放置正常情况下空气流速 2 lmin-1
放凉水热度 15 – 35°C
离氮气供求关系插孔 1/4 in (6.5 mm) 管
氢气提供了经济压力 3 x 105 – 7 x 105 Pa
低氮纯净度 99.95%
开关电源提供给 400 V,50/60 Hz,3 相
极限的热效率 1.4 kW
直流无刷电机额定值电功率 3.0 kW
TIM
承重 43.5 kg

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