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  • 产品名称:EPX180N 爱德华半导体高真空干泵

  • 产品型号:EPX180N
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
EPX180N 爱德华半导体高真空干泵采用已获的单轴 Holweck® 分级机构, 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。 EPX180N 爱德华半导体高真空干泵以极轻、极小的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。
详情介绍:
EPX180N 爱德华半导体芯片高涡流干泵阐述
新的省油的suv型EPX180N高真空体干泵的特征参数是:的工作耐磨性,启动成本预算更低。EPX180安全使用了的防护机械性配置,要从层结压抽时间到超过7x10-5Torr的加速度的压力。
功能化EPX180N应用于备受瞩目盛赞、大获成就的IPX编,可作为的效能,与IPX差距,封装重量比热容轻了20%、比热容变小 30% 且马力有效降低了40%。


EPX180N 爱德华半导体行业高高压气干泵

EPX系列的干井式抽机械泵认可干净和新型半导体设备加电竞比赛app下载大全广泛软件应用,如灰化/剥落和流入端点站广泛软件应用。 𓃲

EPX系列湿式真空室泵以极轻、极小🍌的封装提供工具上泵送功能,可🌌实现异常清洁的真空。EPX半导体高真空干泵采用已获的单轴Holweck®分级机构,能够从大气压抽空到小于7x10-7Torr的极限压力。 

EPX重力作用泵才能以包块化元件供给明显增强的的性能,既可集成型型到工艺专用辅助工具,又应该远程访问安装程序。除外,凭借集成型型的 MicroTIM电子厂包块还应该与工艺专用辅助工具不累创建无线通信联接。
EPX高压气干泵体系化在霸汽压和超凡高压气之間的压差下工作中,增压房间内无防锈水或密封液。这般会泵送混凝土体系化清扫,不会轻易而是体系化的排掉而使油或液态逆流到体系化中。
EPX干泵的定子和封闭式电动机根据模块化化散热回路开关确定放凉。以至于,EPX进口水环真空泵更适合在没容许便用排风扇的洁净间室区域生活环境下便用。放凉水供应信息和出水口管根据水接线头(由买家设定)接连到泵。放凉水的提高必需与区域生活环境标准(室内湿度和的温度)比较,以供不会轻易超过结。
泵存有这个EMC供货过滤水器和这个切换器带动软件包,该带动软件包可展示 和把控泵步进起动电机的电源模块。前盖紧的LED广告EPX机械泵泵的感觉。步进起动电机流速决定于于泵平台出口处处的压差。当泵在平台出口处压差处在或相似大气气溶胶压的时候下进行时,步进起动电机会降速到某一流速,该流速受还可以由切换器带动软件包展示 的瞬时电流受到限制。因为平台出口处处的压差减小,步进起动电机流速会加大,必定会该流速终符合其预订的大流速。但如果平台出口处处的压差扩增,则步进起动电机流速会最后减慢。
EPX L系的泵不要用人工手动开启机组有效控住;许多泵需用 外部有效控住装备用有效控住和视频监控,而有效控住装备需用产品插口模快(TIM)连到到 EPX机械泵泵。
EPX真空体泵由七个震动屏蔽器开始能够。
泵保养感知器可在出来出现故障的状态时主动关闭程序泵。


EPX180N 爱德华半导体设备高正空干泵软件

负载锁
传输腔
PVD 溅射
灰化/PR 剥离
电介质刻蚀
EPX 系列涵盖的应用,从水处理到中度工作负载的制程。

EPX“N”系列包括一个可提供氮清洗的气体模块,从而可将应用范围扩大为中等制程,在这类制程中预期存在的腐蚀性蒸汽和微粒的程度较低。


EPX180N 爱德华半导体高真空干泵功能和优势
紧凑的占地面积–作为可用的工具上泵之一,EPX高真空干泵节省了占地面积。EPX可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。
低运行成本-EPX仅需要1.4 kW的功率和整合空闲模式,从而可大化功率效率。
的保护机械装置–EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在进气口压力下连续工作。
清洁机械装置–传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX高真空泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。
–EPX高真空泵基于经过现场验证的IPX,具有13年的MTBFp(SEMI E10),大约每5年维修一次,大程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络-EPX系列干泵配有终用户控制,可以连接到结构的网络,以进行诊断监视和控制。


EPX180N 爱德华半导体高真空干泵数据

谷值快慢 170 m3h-1

105 ft3min-1

2835 lmin-1
终极机械泵

<1 x 104 mbar

<7.5 x 10-5 Torr

<1 x 10-2 Pa
发动机预热日子(可达标称耐磨性) 30 多分钟
用户入口蝶阀法兰 ISO63
法兰盘 NW25
的噪音 <59 dB(A)
水管接头 3/8 in 怏速
冷去水流体密度 2 lm-1
制冷水溫度 15 – 35°C
电压供求平衡 200/208 V,50/60 Hz 三相四线
上限工作功率 1.4 kW
高压电机电机额定马力马力 3.0 kW
TIM C3
体积 43.5 kg



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