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  • 产品名称：iXH 干式工业级真空泵系统

  • 产品型号：
  • 产品厂商：Edwards
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简单介绍：
iXH 干式工业级真空泵系统系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的，为严苛制程能力 树立了新标准，它在上的许多 300mm 半导体和平板 电竞比赛app下载大全内通过提高制程性实现低成本。 iXH 干式工业级真空泵系统可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性 以在严苛制程中具有大性。
详情介绍：
iXH 湿式化工级机械泵泵设计

iXH 系干泵货品是 Edwards 的市扬 iH 货品的，为严格要求制造实力 培塑了新标准规定，它在上的一些 300mm 半导体材料复兴板 电竞比赛app下载大全内根据提升 制造性完成低投资成本。 
可需求 FPD、日能、 半导体行业和 LED 制作业业中必将上升的气休联通流量标准要求的 大余量干泵和增压泵系列表。 除非体现了高点值提取强度外，这一些泵还配用多基本特征 以在严历工艺中体现了大性。 
iXH 泵用组件化设汁，非常符合 现在的生产工艺追求，还有这对前沿性公司中持续不断的出现的APP挑战赛 蕴含着规划很明确的要对工作规划。



应用

半导体设备的目标值应运以及：
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI

FPD 的梦想软件应用包涵：
PECVD
TCO
刻蚀
接入腔

其主要因素和特色
对应的 EPI 和太阳队能工艺下跌增进了氡气提取加速度。
大存储量干泵和 增压泵打造扩张的生产工艺界面以的提升产销量。
占地面瓷砖大小更小，长度更低，方便于在其余电子厂中施工。

完全符合主要的标准化，涉及到 UL、CE 和 S2。可不可以仍旧如一地采用或省略不需。




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