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  • 产品名称:iXH 干式工业级真空泵系统

  • 产品型号:
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
iXH 干式工业级真空泵系统系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的,为严苛制程能力 树立了新标准,它在上的许多 300mm 半导体和平板 电竞比赛app下载大全内通过提高制程性实现低成本。 iXH 干式工业级真空泵系统可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外,这些泵还配备多种特性 以在严苛制程中具有大性。
详情介绍:
iXH 湿式化工级机械泵泵设计

iXH 系干泵货品是 Edwards 的市扬 iH 货品的,为严格要求制造实力 培塑了新标准规定,它在上的一些 300mm 半导体材料复兴板 电竞比赛app下载大全内根据提升 制造性完成低投资成本。 
可需求 FPD、日能、 半导体行业和 LED 制作业业中必将上升的气休联通流量标准要求的 大余量干泵和增压泵系列表。 除非体现了高点值提取强度外,这一些泵还配用多基本特征 以在严历工艺中体现了大性。 
iXH 泵用组件化设汁,非常符合 现在的生产工艺追求,还有这对前沿性公司中持续不断的出现的APP挑战赛 蕴含着规划很明确的要对工作规划。



应用

半导体设备的目标值应运以及:
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI

FPD 的梦想软件应用包涵:
PECVD
TCO
刻蚀
接入腔

其主要因素和特色
对应的 EPI 和太阳队能工艺下跌增进了氡气提取加速度。
大存储量干泵和 增压泵打造扩张的生产工艺界面以的提升产销量。
占地面瓷砖大小更小,长度更低,方便于在其余电子厂中施工。

完全符合主要的标准化,涉及到 UL、CE 和 S2。可不可以仍旧如一地采用或省略不需。




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