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  • 产品名称:GX100N 爱德华半导体干式真空泵

  • 产品型号:GX100N
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
GX100N 爱德华半导体干式真空泵为大修之间零维护树立了新标准。 效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续的泵送能力。 GX100N 爱德华半导体干式真空泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合应用条件,包括从清洁到中等负载制程。 模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个电竞比赛app下载大全的要求。 紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。
详情介绍:
概述

GX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续的泵送能力。
GX 干泵包括以太网连接功能,允许通过网页查看主要数据,另外还包括一套的网络选项,可泵持续运转。
GX 泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合应用条件,包括从清洁到中等负载的工艺。模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配🌳置以适合各个电竞比赛app下载大全的要求。紧ও凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。


应用

负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
氧化物腐蚀
金属腐蚀
植入源


系统和优势与劣势
低使用料工费
与 iL/iH 干泵好于,公共设施成本低多可降低了 50%
不可应对性保护
灵活多变的装首选项
好用轻便,以及安装使用
道具上、近程或远程登陆
能提高工具软件货运量
要用的快的电流选择泵之三
新线路的地泵效能
在 50 和 60 Hz 下抽速相似
降了自然环境燥声
仅 55 dB(A)
峰峰值强度比率宽
100、300、600 和 800 m3h-1


叁数

业绩考核
谷值转速 105 m3h-1

62 ft3min-1

1750 lmin-1
超凡气压 5 x 10-3 mbar

3.75 x 10-3 Torr

0.5 Pa
700 Torr 改装排气管压强下的极限点
工作电压 1 kW
AUC(有源机 操作器) 0.05 kW

水填报志愿系统 1 slm
离氮气 0 slm
装有仔细讯息
占大理石地表面积表面积(不涵盖排气口配置) 0.20 m2
称重 120 kg
进气口连结 ISO 63
排气口相连 NW25
极限法的噪音 <55 dB(A)

  
需要恒流阀附注


GX100L 爱德华半导体行业干试涡流泵预购问题:
GX100L 200 - 230V 50/60Hz A54710958
GX100L 380 - 460V 50/60Hz A54710959
GX100N 200 - 230V 50/60Hz A54711958
GX100N 380 - 460V 50/60Hz A54711959
GX600L 200 - 230V 50/60Hz A54730958
GX600L 380 - 460V 50/60Hz A54730959
GX600N 200 - 230V 50/60Hz A54731958
GX600N 380 - 460V 50/60Hz A54731959
GX1000N 200 - 230V 50/60Hz A54781958
GX1000N 380 - 460V 50/60Hz A54781959
GX100TI 200 - 230V 50/60Hz A54746958

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