新产品详细情况
  • 产品名称:iH1800HTX Edwards半导体干式真空泵

  • 产品型号:iH1800HTX
  • 产品厂商:Edwards
  • 产品文档:
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍:
iH1800HTX Edwards半导体干式真空泵为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。 iH1800HTX Edwards半导体干式真空泵在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
详情介绍:


iH1800HTX Edwards半导干井式高压气泵简述

Edwards 半导体技术进口进口真空泵就已经 过现场图app证明文件,能够明确高运作基准正常作业。利用拉长运用使用周期、提生了正常作业周期并提生了出产出率,时极大上地有效的减小占砖面使用面积、降低正常作业投资成本,达成了高的性和耐磨性。

iH 系受委屈以执行程序的工艺(如会存在颗粒、𒐪易冷凝器和的腐蚀不锈钢副产物设备的 PECVD 和 LPCVD 工艺)作为了高性。

iH1800HTX 专为需要较高的工作温度以避免制程气体冷凝的工艺(如 300 mm LPCVD 氮化物)而设计。


iH1800HTX Edwards半导自吸式正空泵APP
电流锁
输送机
压力容器检验
平版印刷类
PVD 制造
PVD 预洁面
RTA
脱离/灰化
刻蚀
植入性源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
想关一点指定操作前提条件下 iH 设备增强性的意见,请与 Edwards 关系。


iH1800HTX Edwards半导体器件湿式负压泵功能性和主要优势
网站优化了服务设施消耗量。
不用再防护性运营维护。
悬臂轴和的弧型叶片利于顆粒的正确处理。
在避免浪费交流接触器公率的的同时大的程度加快了事业琐碎的 CVD 操作条件下的稳固性。
耐锈蚀的生产制造材料能接受泵送混凝土锈蚀性有毒气体。
较高的本职工作湿度为规避的气体冷却水提高了充分的的。
整体风格式轴杆就不须得实用三相异步电机结合器,而然后级泵排除了实用降噪器的须得并排除了粒状堆积物,若想降底了综合征占规模。


iH1800HTX Edwards半导体技术干井式进口机械泵数据文件

基线的速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
极根重力作用 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典例轴封氮总流量 4 slm
进气口接 ISO160
连到 NW40
15 psi 压落下去基本特征保压流水量 240 l h-1
4 l min-1
承重 502 kg
極限工作功率设置 4.1 kW
发电机额定负载工作功率 7.0 kW
油存储容量 1.6 l

阿拉伯数字均为无气镇时的一般值。


iH1800HTX Edwards半导干井式真空环境泵采购信心

iH1800HTX 自吸式泵 460V,60 Hz,3 相         A59042908 
iH1800HTX 湿式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相  A59042945
iH1800HTX 干井式泵 380/415V,50 Hz,3 相     A59042946
iH1800HTX 干井式泵 230V,60 Hz,3 相         A59042957
iH1800HTX 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相  A59062945



关键词:
网站内容:
结合人:
结合的电话:
Email:
集团名字:
结合地扯:
 
 
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!
pp王者捕鱼-pp王者捕鱼网站app-电竞比赛app下载大全 MG游戏_MG游戏官网 - 【电竞比赛app下载大全】 mg游戏平台app下载-mg游戏平台官网-欢迎莅临Welcome!