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新产品详细情况
简单介绍：
iH1800HTX Edwards半导体干式真空泵为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。
iH1800HTX Edwards半导体干式真空泵在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
详情介绍：
iH1800HTX Edwards半导干井式高压气泵简述
Edwards 半导体技术进口进口真空泵就已经 过现场图app证明文件，能够明确高运作基准正常作业。利用拉长运用使用周期、提生了正常作业周期并提生了出产出率，时极大上地有效的减小占砖面使用面积、降低正常作业投资成本，达成了高的性和耐磨性。iH 系受委屈以执行程序的工艺（如会存在颗粒、𒐪易冷凝器和的腐蚀不锈钢副产物设备的 PECVD 和 LPCVD 工艺）作为了高性。
iH1800HTX 专为需要较高的工作温度以避免制程气体冷凝的工艺（如 300 mm LPCVD 氮化物）而设计。
iH1800HTX Edwards半导自吸式正空泵APP
电流锁
输送机
压力容器检验
平版印刷类
PVD 制造
PVD 预洁面
RTA
脱离/灰化
刻蚀
植入性源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
想关一点指定操作前提条件下 iH 设备增强性的意见，请与 Edwards 关系。
iH1800HTX Edwards半导体器件湿式负压泵功能性和主要优势
网站优化了服务设施消耗量。
不用再防护性运营维护。
悬臂轴和的弧型叶片利于顆粒的正确处理。
在避免浪费交流接触器公率的的同时大的程度加快了事业琐碎的 CVD 操作条件下的稳固性。
耐锈蚀的生产制造材料能接受泵送混凝土锈蚀性有毒气体。
较高的本职工作湿度为规避的气体冷却水提高了充分的的。
整体风格式轴杆就不须得实用三相异步电机结合器，而然后级泵排除了实用降噪器的须得并排除了粒状堆积物，若想降底了综合征占规模。
iH1800HTX Edwards半导体技术干井式进口机械泵数据文件
| 基线的速度 | 1800 m3h-1 |
| 1060 cfm | |
| 30000 l min-1 | |
| 极根重力作用 | 1 x 10-3 mbar |
| 7.5 x 10-4 Torr | |
| 0.1 Pa | |
| 典例轴封氮总流量 | 4 slm |
| 进气口接 | ISO160 |
| 连到 | NW40 |
| 15 psi 压落下去基本特征保压流水量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 承重 | 502 kg |
| 極限工作功率设置 | 4.1 kW |
| 发电机额定负载工作功率 | 7.0 kW |
| 油存储容量 | 1.6 l |
阿拉伯数字均为无气镇时的一般值。
iH1800HTX Edwards半导干井式真空环境泵采购信心
iH1800HTX 自吸式泵 460V，60 Hz，3 相 A59042908
iH1800HTX 湿式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相 A59042945
iH1800HTX 干井式泵 380/415V，50 Hz，3 相 A59042946
iH1800HTX 干井式泵 230V，60 Hz，3 相 A59042957
iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相 A59062945