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  • 产品名称:iH1800 Edwards半导体干式真空泵

  • 产品型号:iH1800
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
iH1800 Edwards半导体干式真空泵为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。 iH1800 Edwards半导体干式真空泵在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
详情介绍:


iH1800 Edwards半导体行业干试机械泵泵详述

Edwards 半导体器件真空度泵都已经过現場用证明书,能够决定高上班标作业。确认廷长用到保修期、改善作业时光并改善产生率,另外大因素地缩小到拆迁赔偿空间、削减作业利润,实行了高的性和耐腐蚀性。
iH 全系列使唤以实行的工艺(如会有粒子、易冷疑和金属强腐蚀性副食品的 PECVD 和 LPCVD 工艺)展示了高性。

iH1800 Edwards半导体技术自吸式真空室泵操作
阻抗锁
推送
的计量
平版印
PVD 制造
PVD 预便于
RTA
剥离技术/灰化
刻蚀
殖入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
相关的英文随便某些应该用生活条件下 iH 系统的稳定性能分析高性的小编建议,请与 Edwards 找。


iH1800 Edwards半导体材料湿式真空度泵实用功能和优劣势
优化系统了的设施耗用。
必须防护性维护保养。
悬臂轴和的普通常规定子更加方便颗粒状的操作。
在避免浪费电机马达输出功率的互相大度提升 了运转严峻的 CVD 应用软件状况下的动态平衡性。
耐锈蚀的制造技术食材不得混凝土输送泵锈蚀性有毒气体。
较高的的工作热度为避开实验室气体冷却可以提供了充沛的。
一体化式轴杆不能自己的选择三相电机基础器,而5级泵驱除了的选择降噪器的都要并驱除了颗粒肥料累积,然后消减了总的征地赔偿体积。


iH1800 Edwards半导体器件干井式负压泵资料

基线高速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
极限值真空箱 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
举例轴封氮国内流量 4 slm
进气口联接 ISO160
联接 NW40
15 psi 压降下来具代表性制冷水2g流量量 240 l h-1
4 l min-1
权重 502 kg
极限值工作功率手机输入 4.1 kW
三相电机额定的马力 7.0 kW
油出水量 1.6 l

数码均为无气镇时的类型值。


iH1800 Edwards半导体材料湿式蒸空泵够买图片信息

iH1800 干井式泵 460V,60 Hz,3 相        A59040908 
iH1800 湿式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相 A59040945
iH1800 干试泵 380/415V,50 Hz,3 相    A59040946
iH1800 自吸式泵 230V,60 Hz,3 相        A59040957



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