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简单介绍：
iH1000 Edwards半导体干式真空泵为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。
iH1000 Edwards半导体干式真空泵在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
详情介绍：
iH1000 Edwards半导体行业湿式真空箱泵慨述
Edwards 半导体材料负压泵已过直播 采用证明材料，也可以采用高本职工作标准单位用。完成延伸用使用期、增加用时刻并增加工作率，同时极大较地增大占砖占地面积很占地面积很、有效降低用成本费，实行了高的性和性能参数。iH 商品系列给面子以实行的制造（如有着粒子、易空气冷却和腐化性副商品的 PECVD 和 LPCVD 制造）展示 了高性。
iH1000 Edwards光电器件湿式真空系统泵软件应用
过载锁
输送管
剂量
平版纸箱印刷
PVD 生产工艺
PVD 预清理
RTA
剥除/灰化
刻蚀
种植源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
有关每某个用途先决条件下 iH 体统安稳性的提醒，请与 Edwards 结合。
iH1000 Edwards半导干试重力作用泵功能键和主要优势
seo了场地设施需求。
不用再預防性养护。
悬臂轴和的弧型定子尽可能使科粒的处里。
在省去高压电机马力的与此同时大层次提升了运行任务艰巨的 CVD 运用条件下的维持性。
耐腐烛的研发用料可以泵送混凝土腐烛性混合气体。
较高的运作环境温度为以防乙炔气空调蒸发器给出了加以的。
产品式轴杆暂时无法实用伺服电机连结器，而五级泵解决了实用降音器的必须要 并解决了小粒积聚，于是有效降低了总的征占表面积。
iH1000 Edwards半导湿式蒸空泵数据统计
| 基线流速 | 1000 m3h-1 |
| 589 cfm | |
| 16670 l min-1 | |
| 极限法真空体 | 1 x 10-3 mbar |
| 7.5 x 10-4 Torr | |
| 0.1 Pa | |
| 关键轴封氮视频流量 | 4 slm |
| 进气口接连 | ISO100 |
| 相连 | NW40 |
| 15 psi 压落下去经典散热河水量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 体积 | 430 kg |
| 限制输出设置 | 3.8 kW |
| 发电机固定瓦数 | 6.1 kW |
| 油存储容量 | 1.48 l |
数字式均为无气镇时的主要值。
iH1000 Edwards半导体干式真空泵订购信息
iH1000 干式泵 460V，60 Hz，3 相 A59030908
iH1000 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相 A59030945
iH1000 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相 A59030946
iH1000 干式泵 230V，60 Hz，3 相 A59030957