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  • 产品名称:iH1000 Edwards半导体干式真空泵

  • 产品型号:iH1000
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
iH1000 Edwards半导体干式真空泵为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。 iH1000 Edwards半导体干式真空泵在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
详情介绍:


iH1000 Edwards半导体行业湿式真空箱泵慨述

Edwards 半导体材料负压泵已过直播 采用证明材料,也可以采用高本职工作标准单位用。完成延伸用使用期、增加用时刻并增加工作率,同时极大较地增大占砖占地面积很占地面积很、有效降低用成本费,实行了高的性和性能参数。
iH 商品系列给面子以实行的制造(如有着粒子、易空气冷却和腐化性副商品的 PECVD 和 LPCVD 制造)展示 了高性。

iH1000 Edwards光电器件湿式真空系统泵软件应用
过载锁
输送管
剂量
平版纸箱印刷
PVD 生产工艺
PVD 预清理
RTA
剥除/灰化
刻蚀
种植源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
有关每某个用途先决条件下 iH 体统安稳性的提醒,请与 Edwards 结合。


iH1000 Edwards半导干试重力作用泵功能键和主要优势
seo了场地设施需求。
不用再預防性养护。
悬臂轴和的弧型定子尽可能使科粒的处里。
在省去高压电机马力的与此同时大层次提升了运行任务艰巨的 CVD 运用条件下的维持性。
耐腐烛的研发用料可以泵送混凝土腐烛性混合气体。
较高的运作环境温度为以防乙炔气空调蒸发器给出了加以的。
产品式轴杆暂时无法实用伺服电机连结器,而五级泵解决了实用降音器的必须要 并解决了小粒积聚,于是有效降低了总的征占表面积。


iH1000 Edwards半导湿式蒸空泵数据统计

基线流速 1000 m3h-1
589 cfm
16670 l min-1
极限法真空体 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
关键轴封氮视频流量 4 slm
进气口接连 ISO100
相连 NW40
15 psi 压落下去经典散热河水量 240 l h-1
4 l min-1
体积 430 kg
限制输出设置 3.8 kW
发电机固定瓦数 6.1 kW
油存储容量 1.48 l

数字式均为无气镇时的主要值。


iH1000 Edwards半导体干式真空泵订购信息

iH1000 干式泵 460V,60 Hz,3 相        A59030908 
iH1000 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相 A59030945
iH1000 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相    A59030946
iH1000 干式泵 230V,60 Hz,3 相        A59030957



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