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  • 产品名称:iH600 Edwards半导体干式真空泵

  • 产品型号:iH600
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
iH600 Edwards半导体干式真空泵为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。 iH600 Edwards半导体干式真空泵在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
详情介绍:


iH600 Edwards半导体设备湿式进口进口真空泵现状分析

Edwards 半导体材料真空室泵现在已经过现厂app证件,可以依照规定高工作的规定操作。利用延伸安全使用使用的时间、上升操作的时间并上升产量率,一同大层度地压缩征占占地面、减少操作总成本,体现了高的性和能力。
iH 品类欺负以履行的制造(如现实存在水分子、易冷疑和浸蚀性副软件的 PECVD 和 LPCVD 制造)提拱了高性。

iH600 Edwards半导体芯片自吸式进口机械泵APP
负债锁
推送
计量检定
平版油墨印刷
PVD 生产工艺
PVD 预洗涤
RTA
分离/灰化
刻蚀
殖入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
有关于其余特定的适用标准下 iH 机系统稳明确高性的提醒,请与 Edwards 认识。


iH600 Edwards光电器件干试真空度泵实用功能和特色
优化提升了设施设备耗电量。
不用再防范性维系。
悬臂轴和的异行定子和转子方便颗料的处理。
在合理利用伺服电机瓦数的互相大的程度提供了操作责任重大的 CVD 软件应用标准下的比较稳定义。
耐蚀化的加工装修材料能混凝土输送泵蚀化性有机废气气体。
较高的做工作室内温度为防止出现汽体蒸汽加热供应了有力的。
整个式轴杆免用到伺服电机连结器,而最后级泵消失了用到降音器的需要并消失了粉末推积,故而降底了整体土地征用面積。


iH600 Edwards半导体技术自吸式真空室泵数据报告

阀值车速 600 m3h-1
353 cfm
10000 l min-1
超凡高压气 7 x 10-4 mbar
5.3 x 10-4 Torr
0.07 Pa
一般轴封氮用户流量 4 slm
进气口相连 ISO100
衔接 NW40
15 psi 压落下典型性放凉流水量 240 l h-1
4 l min-1
质量 415 kg
上限效率搜索 3.4 kW
同步电机额定输出功率输出功率 6.1 kW
油发热量 1.43 l

数子均为无气镇时的其最典型的值。


iH600 Edwards光电器件干井式抽水环真空泵定购个人信息

iH600 干试泵 460V,60 Hz,3 相        A59020908 
iH600 湿式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相 A59020945
iH600 干井式泵 380/415V,50 Hz,3 相    A59020946
iH600 干井式泵 230V,60 Hz,3 相        A59020957




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