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  • 产品名称:iH160 Edwards半导体干式真空泵

  • 产品型号:iH160
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
iH160 Edwards半导体干式真空泵为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。 iH160 Edwards半导体干式真空泵在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
详情介绍:


iH160 Edwards半导体技术干试真空体泵论述

Edwards 半导重力作用泵都已经 过场所用途证实,能够依照规定高工作任务标准规范行驶。操作延长了操作生命周期、提升 行驶准确时间并提升 制造率,与此同时大状态地降低了征地赔偿适用面积、降低了行驶制造费,保证了高的性和能。
iH 一系列作对以施行的生产工艺(如存在的颗粒、易蒸汽加热和锈蚀性副设备的 PECVD 和 LPCVD 生产工艺)作为了高性。

iH160 Edwards半导体芯片干试抽进口真空泵采用
负载电阻锁
输料
计量检测
平版印上
PVD 工艺
PVD 预环保
RTA
剥落/灰化
刻蚀
嵌入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
有关的信息所有的不同app具体条件下 iH 系统稳定可靠性的建立,请与 Edwards 练习。


iH160 Edwards半导体行业干试负压泵模块和优越
seo了公共设施消耗掉。
不需要預防性运营维护。
悬臂轴和的非常规异型定子尽可能使颗粒物的整理。
在降低成本三相电机公率的也大数量改善了运行艰巨的 CVD 适用状态下的平稳性。
耐蚀化的创造装修材料合法混凝土输送泵蚀化性气态。
较高的岗位温湿度为预防气味冷凝器展示 了积极的。
产品式轴杆需不要求食用直流无刷电机连结器,而第五个级泵除掉了食用降噪器的要求并除掉了科粒累积,进而降底了基本占平数平数。


iH160 Edwards半导体材料湿式进口水环真空泵统计资料

最高值网络速度 165 m3h-1
97 cfm
2750 l min-1
级限真空环境 1 x 10-2 mbar
7.5 x 10-3 Torr
1 Pa
具代表性轴封氮2g流量 4 slm
进气口相连 ISO63
联接 NW40
15 psi 压下降基本特征制冷水量 120 l h-1
2 l min-1
称重 244 kg
重力公率手机输入 3.1 kW
调速电机特殊工作电压 5.0 kW
油发热量 0.85 l

字母均为无气镇时的举例值。


iH160 Edwards半导自吸式重力作用泵购买信息查询

iH160 自吸式泵 460V,60 Hz,3 相        A59010908 
iH160 湿式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相 A59010945
iH160 干井式泵 380/415V,50 Hz,3 相    A59010946
iH160 湿式泵 230V,60 Hz,3 相        A59010957



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