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服务祥情
简单介绍：
iH160 Edwards半导体干式真空泵为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。
iH160 Edwards半导体干式真空泵在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
详情介绍：
iH160 Edwards半导体技术干试真空体泵论述
Edwards 半导重力作用泵都已经 过场所用途证实，能够依照规定高工作任务标准规范行驶。操作延长了操作生命周期、提升 行驶准确时间并提升 制造率，与此同时大状态地降低了征地赔偿适用面积、降低了行驶制造费，保证了高的性和能。iH 一系列作对以施行的生产工艺（如存在的颗粒、易蒸汽加热和锈蚀性副设备的 PECVD 和 LPCVD 生产工艺）作为了高性。
iH160 Edwards半导体芯片干试抽进口真空泵采用
负载电阻锁
输料
计量检测
平版印上
PVD 工艺
PVD 预环保
RTA
剥落/灰化
刻蚀
嵌入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
有关的信息所有的不同app具体条件下 iH 系统稳定可靠性的建立，请与 Edwards 练习。
iH160 Edwards半导体行业干试负压泵模块和优越
seo了公共设施消耗掉。
不需要預防性运营维护。
悬臂轴和的非常规异型定子尽可能使颗粒物的整理。
在降低成本三相电机公率的也大数量改善了运行艰巨的 CVD 适用状态下的平稳性。
耐蚀化的创造装修材料合法混凝土输送泵蚀化性气态。
较高的岗位温湿度为预防气味冷凝器展示 了积极的。
产品式轴杆需不要求食用直流无刷电机连结器，而第五个级泵除掉了食用降噪器的要求并除掉了科粒累积，进而降底了基本占平数平数。
iH160 Edwards半导体材料湿式进口水环真空泵统计资料
| 最高值网络速度 | 165 m3h-1 |
| 97 cfm | |
| 2750 l min-1 | |
| 级限真空环境 | 1 x 10-2 mbar |
| 7.5 x 10-3 Torr | |
| 1 Pa | |
| 具代表性轴封氮2g流量 | 4 slm |
| 进气口相连 | ISO63 |
| 联接 | NW40 |
| 15 psi 压下降基本特征制冷水量 | 120 l h-1 |
| 2 l min-1 | |
| 称重 | 244 kg |
| 重力公率手机输入 | 3.1 kW |
| 调速电机特殊工作电压 | 5.0 kW |
| 油发热量 | 0.85 l |
字母均为无气镇时的举例值。
iH160 Edwards半导自吸式重力作用泵购买信息查询
iH160 自吸式泵 460V，60 Hz，3 相 A59010908
iH160 湿式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相 A59010945
iH160 干井式泵 380/415V，50 Hz，3 相 A59010946
iH160 湿式泵 230V，60 Hz，3 相 A59010957