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  • 产品名称:iH80 Edwards半导体干式真空泵

  • 产品型号:iH80
  • 产品厂商:Edwards
  • 产品文档:
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简单介绍:
iH80 Edwards半导体干式真空泵为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。 iH80 Edwards半导体干式真空泵在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
详情介绍:


iH80 Edwards半导体器件干井式正空泵概括

Edwards 半导体设备重力作用泵就过现厂技术应用证件,能能以高作业原则启用。利用减少选用使用耗时、提升 启用耗时并提升 研发率,同时大层面地大于占地上表面积、降底启用成本预算,控制了高的性和能力。
iH 企业产品系列受气以执行命令的制造(如有着颗粒、易气液分离器和耐强腐蚀性副企业产品的 PECVD 和 LPCVD 制造)提拱了高性。

iH80 Edwards半导干井式蒸空泵选用
根据锁
气流输送
压力容器检验
平版设计印刷
PVD 工艺
PVD 预清理
RTA
剥落/灰化
刻蚀
值入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
关与任何人特殊采用标准下 iH 系统化安稳性的推荐 ,请与 Edwards 保持联系。


iH80 Edwards半导体行业湿式机械泵泵能力和优势可言
网站优化了建筑设施浪费。
需不需要防控性保障。
悬臂轴和的非常规异型定子有助于小粒的加工。
在合理利用交流电动机输出的与此同时大层面提高了了作业繁杂的 CVD APP要求下的比较稳明确。
抗冲击性的造成材料容许混凝土输送泵金属腐蚀锈蚀性性气物。
较高的本职工作平均温度为应对气休冷凝剂展示了有效的。
产品式轴杆不用办理选用高压电机相联器,而5、级泵避免了选用枪口制退器器的应该并避免了粒状堆积,,而降低了总的拆迁赔偿户型面积。


iH80 Edwards半导体技术干试负压泵数剧

最高值时间 103 m3h-1
61 cfm
1717 l min-1
极致真空泵 1 x 10-2 mbar
7.5 x 10-3 Torr
1 Pa
常见轴封氮2g流量 4 slm
进气口连结 ISO63
接连 NW40
15 psi 压落下去关键待冷却流水量 120 l h-1
2 l min-1
质量 240 kg
重力电功率进入 2.7 kW
减速机电机额定额定功率额定功率 3.5 kW
油数量 0.7 l

  

数字式均为无气镇时的其最典型的值。


iH80 Edwards半导体干式真空泵订购信息

iH80 干式泵 460V,60 Hz,3 相        A59000908 
iH80 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相 A59000945
iH80 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相    A59000946
iH80 干式泵 230V,60 Hz,3 相        A59000957


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