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  • 产品名称:EPX500NE Edwards半导体高真空干泵

  • 产品型号:EPX500NE
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
EPX500NE Edwards半导体高真空干泵使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于7x10-5Torr的极限压力。 EPX500NE Edwards半导体高真空干泵用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。
详情介绍:
EPX500NE Edwards半导体材料高真空环境干泵概况
新的紧凑型 EPX500 高抽真空干泵的因素是:事业耐磨性,开机运行的成本更低。 EPX500 实用了的呵护机械制造装制,也能从包气负荷加制冷剂到低于 7 x 10-5 Torr 的极限的负荷。
EPX NE 编的泵具同一个终大家调控器 (EUC)。 能够终大家调控器能够保持人格独立用到的本地服务调控,并能够连结到组成部分的系统,以通过远程登陆调控和优化跟踪。


EPX500NE Edwards半导体器件高真空箱干泵应用
根据锁
文件传输腔
PVD 溅射
灰化/PR 剥落
电导电介质刻蚀
EPX 类别包涵的广泛应用,从水正确处理到灶性岗位装载的工艺。

EPX“N”编还包括同一个可提高氮进行维护清洁的废气组件,所以可将应用领域面积缩小为一般工艺,在这些类工艺中期望值有的防腐蚀蒸汽式和粒子的系数较低。


EPX500NE Edwards半导体行业高进口真空干泵实用功能和优势可言
密集的征地赔偿赔偿面積 – 用作能否使用的设备上泵中的一种,EPX 最省了征地赔偿赔偿面積。EPX 能否简单装置到设备上,进而最省了前级给水管和装置成本价,这样必须要 也可远程访问装置。
低启用价格 - EPX 仅须得 1.4 kW 的耗油率和优化空闲模式切换,得以可大化耗油率效应。
的守护机器控制系统 – EPX 都就能够从大气气溶胶压加制冷剂到涡轮机分子结构原则的的压力,并都就能够在进气口的的压力下间断做工作。
净化机械制造控制系统 – 传统艺术的高蒸空系统轮毂的轴承底脂肪油运用脂肪油润滑系统,这将称为制造生产工具中被环保问题的源。EPX 泵不会有高蒸空系统轮毂的轴承底脂肪油,而且不都存在其它另外的的不确定被环保问题的源。
– EPX 通过经直播验正的 IPX ,拥有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),约每 5 年维修部一天,大层度地延后了泵的用使用期。

可兼容的网格 𝐆- EPX 品类要装终使用者把控,可能相连接到构造的网格,以参与检验窃听和把控。 ❀


EPX500NE Edwards半导高真空度干泵数据统计

最高值时间 500 m3h-1

295 ft3min-1

8338 lmin-1
级限蒸空 <1 x 10-6 mbar

<7 x 10-7 Torr

<1 x 10-4 Pa
打火时长(可达标称安全性能) 30 小时
喝进去法兰盘 ISO160
卡箍 NW25
空调噪声 <59 dB(A)
冷去水流动速度 2 lmin-1
闭式冷却塔水气温 15 – 35°C
惰性气体市场机制接口方式 1/4 in (6.5 mm) 管
惰性气体市场机制工作压力 3 x 105 – 7 x 105 Pa
低氮饱和度 99.95%
开关电源供求关系 200/208 V,50/60 Hz,3 相
极根电机功率 1.4 kW
三相异步电机额定值电功率 3.0 kW
TIM
体重 45.2 kg

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