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  • 产品名称:EPX500N Edwards半导体高真空干泵

  • 产品型号:EPX500N
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
EPX500N Edwards半导体高真空干泵使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于7x10-5Torr的极限压力。 EPX500N Edwards半导体高真空干泵用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。
详情介绍:
EPX500N Edwards光电器件高抽真空干泵综述
新的紧凑suv型 EPX500N高进口真空干泵的性是:本职工作功效,运作料工费更低。EPX500 使用的了的自我保护自动化设备设施,会从时尚压抽时间到超过 7 x 10-5 Torr 的限制压差。
接口化 EPX500N研究背景受人盛赞、大获成功的英文的 IPX 国产,可给予的功效,与 IPX 相较于,打包自重轻了 20%、体积大概低了 30% 且工率减轻了 40%。

EPX500N Edwards半导体技术高真空箱干泵应用
阻抗锁
传送腔
PVD 溅射
灰化/PR 剥除
电导电介质刻蚀
EPX 系列作品主要包括的应用,从水正确处理到重度事情负荷的制造。

EPX“N”品类包涵一可出示氮刷洗的空气模块电源,进而可将软件应用区域提高为中等水平生产工艺,于这类生产工艺中预期效果会有的防强腐蚀性蒸气和粒子的地步较低。


EPX500N Edwards半导高真空室干泵基本功能和主要优势
紧身的征占建筑户型面积 – 当作能用的 的APP上泵其一,EPX 节约了了征占建筑户型面积。EPX 可会装设到APP上,才能节约了了前级地埋管和装设的成本,如果必须 也可无线装设。
低加载的成本 - EPX 仅应该 1.4 kW 的耗油率和合并空闲的模式,所以可大化耗油率速度。
的保护英文机械厂部件 – EPX 不错从空气压表加制冷剂到增压原子基准面气压,并不错在进气口气压下累计工作的。
洗涤机戒装备 – 传统意义的高正空轮毂轴承型号底动物动物动物油脂安全使用动物动物动物油脂防锈液,这会成了工艺平台中危害源。EPX 泵不现实存在高正空轮毂轴承型号底动物动物动物油脂,但会不现实存在所以其它的的意向危害源。
– EPX 依据根据场地核实的 IPX ,有着 13 年的 MTBFp (SEMI E10),至少每 5 年维修部一遍,大方面地拉长了泵的用生命周期。

可兼容的wifi网上 - EPX 编还配有终粉丝的把握,可接到节构的w♋ifi网上,以参与原因监控微信和的把握𝄹。


EPX500N Edwards光电器件高进口真空干泵数据表格

基线极限速度 500 m3h-1

295 ft3min-1

8338 lmin-1
极致真空体

<1 x 10-6 mbar

<7 x 10-7 Torr

<1 x 10-4 Pa
提前预热精力(高于标称耐腐蚀性) 30 小时
无线运营中心法兰盘 ISO160
蝶阀法兰 NW25
噪声 <59 dB(A)
散热水气速 2 lmin-1
待循环水系统温度因素 15 – 35°C
氦气市场机制usb接口 1/4 in (6.5 mm) 管
氦气供应者有压力 3 x 105 – 7 x 105 Pa
低氮溶解度 99.95%
电源模块市场均衡 200/208 V,50/60 Hz,3 相
上限公率 1.4 kW
三相电机额定功率额定功率 3.0 kW
TIM C3
质量 45.2 kg

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