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  • 产品名称:EPX500LE Edwards半导体高真空干泵

  • 产品型号:EPX500LE
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
EPX500LE Edwards半导体高真空干泵使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于7x10-5Torr的极限压力。 EPX500LE Edwards半导体高真空干泵用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。
详情介绍:
EPX500LE Edwards半导体行业高真空体干泵现状分析
新的紧凑轿车型 EPX500LE 高抽真空干泵的基本特性是:作业选择性能,启动价格更低。EPX500 选择了的保护区机诫系统设计,也可以从包汽压抽真空到需小于 7 x 10-5 Torr 的极致负压。

 方案化 EPX❀500LE体系结构倍受盛赞、大⛄获顺利的 IPX 款型,可供给的耐热性,与 IPX 不同之处,包装盒含水量轻了 20%、体积太变小了 30% 且电率减低了 40%。

EPX LE 系列的泵具有一个终用户控制器 (EUC)。通过终用户控制器可以实现独立使用的本地控制,并能够连接到结构的网络,以进行远程控制和监视。


EPX500LE Edwards半导体器件高真空室干泵适用
EPX 系例涉及的选用,从水加工处理到重度操作过载的生产工艺。
EPX“LE”类型目的采用混凝土泵送惰性有毒气体搭配物(如负荷率设定)且实现工艺机台接头能提供掌控的清潔运作APP。

EPX500LE Edwards半导体材料高真空环境干泵性能和优越性
紧凑型suv的占地面磁砖面上积平数–当作能够用的生产生产工具上泵组成,EPX 降低了占地面磁砖面上积平数。EPX涡流泵也可以随时按照程序程序到生产生产工具上,才能降低了前级地埋管和按照程序程序的成本,若是须得也可即远程按照程序程序。
低进行人工成本-EPX重力作用泵仅需1.4 kW的输出马力和资源整合空闲经济模式,导致可大化输出马力有效率。
的保護机械设备制造平衡装置–EPX干泵就会从细颗粒物压抽时间到齿轮团伙原则各种压,并就会在进气口各种压下间断工做。
清洁卫生机械厂传动装置–经典的高真空泵室滚柱的轴承底脂肪油采用脂肪油湿润,这能够成了生产工艺器具中污水排放源。EPX 泵找不到高真空泵室滚柱的轴承底脂肪油,因此不有着随便其他的的内在的污水排放源。
–EPX干泵 根据所经现场视频验正的IPX,兼备16年的MTBFp(SEMI E10),共要每5年维修部一些,大度地不断增加了泵的选择期。

可兼容的手机wifi网络-EPX类型搭配终粉ꦫ丝把握,可能接连到机构的手机wifi网络,以开𝔉展测试操纵和把握。


EPX500LE Edwards半导体器件高真空箱干泵数值

峰峰值线速度 500 m3h-1

295 ft3min-1

8338 l min-1
限制真空泵

<1 x 10-6 mbar

<7 x 10-7 Torr

<1 x 10-4 Pa
提前预热时候(起到标称稳定性) 30 一分钟
通道口活套法兰 ISO160
蝶阀法兰 NW25
吵音 <59 dB(A)
降温水流动速度 2 lmin-1
冷凝水环境温度 15 – 35°C
电源模块提供给 200/208 V,50/60 Hz,3 相
極限输出 1.4 kW
同步电机额定值电功率 3.0 kW
TIM
权重 45.2 kg

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