商品信息
  • 产品名称:EPX500L Edwards半导体高真空干泵

  • 产品型号:EPX500L
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
EPX500L Edwards半导体高真空干泵使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于7x10-5Torr的极限压力。 EPX500L Edwards半导体高真空干泵用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。
详情介绍:
EPX500L Edwards光电器件高真空环境干泵分析
新的主体工程型 EPX500 高真空体干泵的的特点是:岗位性能参数,进行投入更低。EPX500 食用了的保证自动化控制系统,能从霸气压表排空到不低于 7 x 10-5 Torr 的超凡水压。
控制组件化 EPX500 因为深受颂扬、大获完成的 IPX 系类,可带来的的性能,与 IPX 相对于,再生总重轻了 20%、重量很小 30% 且功效变低了 40%。

EPX500L Edwards半导高真空度干泵使用
EPX 类型主要包括的app,从水处置到灶性的工作环境下的制造。
EPX“L”编宗旨在使用在混凝土泵送惰性甲烷气体交织物(如用电负荷冻结)且实现生产工艺机台接口类型打造把握的洁净操作应用软件。

EPX500L Edwards半导体技术高重力作用干泵功能键和优越性
紧密的占水泥地征占征占 – 为需用的软件交通工具上泵的一种,EPX 节约了了占水泥地征占征占。EPX 能立即怎么按照程序到软件交通工具上,关键在于节约了了前级地埋管和怎么按照程序成本费用,如可以也可远程登陆怎么按照程序。
低运转生产成本 - EPX 仅还要 1.4 kW 的电瓦数和合并空闲方式,为了可大化电瓦数的效率。
的呵护机械设备制造系统 – EPX 行从大气气溶胶压排空到泄压阀团伙基准值压为,并行在进气口压为下间隔任务。
洗涤机械性设施 – 过去的的高抽真空泵滚柱联轴器底物质代谢物使用的物质代谢物进行润滑处理,这有可能变成了制造机器中影响源。EPX 泵没了高抽真空泵滚柱联轴器底物质代谢物,因此不存有其它各种的隐藏的影响源。
– EPX 对于 現场查验的 IPX ,体现了 13 年的 MTBFp (SEMI E10),较为基本比较便宜每 5 年维修部次,大层面地增长了泵的运用时间。

可兼容的微信数据网络𝕴 - EPX 题材配备终微信用户把握,可能接触到构造的微信数据网络,以使用诊断报告监控和把𝔍握。


EPX500L Edwards半导体行业高真空系统干泵统计数据

基线极限速度 500 m3h-1

295 ft3min-1

8338 lmin-1
限制真空泵

<1 x 10-6 mbar

<7 x 10-7 Torr

<1 x 10-4 Pa
点火时长(到达标称耐磨性) 30 小时
通道法兰片 ISO160
法兰部 NW25
噪声 <59 dB(A)
降温水流动速度 2 lmin-1
冷确水气温 15 – 35°C
电源适配器供求 200/208 V,50/60 Hz,3 相
重力电机功率 1.4 kW
无刷电机稳定工作功率 3.0 kW
TIM C3
克重 45.2 kg

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