产品名称：EPX180NE 爱德华半导体高真空干泵

EPX180NE 爱德华半导体设备高真空环境干泵论述
新的紧密型EPX180NE高蒸空干泵的形态是：作业性能指标，加载投资成本更低。EPX180选用了的保障机保护装置，还可以从细颗粒物压加制冷剂到需小于7x10-5Torr的限制压强。

模块电源化EPX180NE 应用于广受高度评价、大获成就 的IPX型号，꧂可提供数据的耐腐蚀性，与IPX对比，包装机总重轻了20%、重量很小 30% 且工作效率减轻了40%。

EPX NE 系统的泵都具有是一个终普通食用者调节器 (EUC)。 能否通过终普通食用者调节器能否实行自主食用的当地调节，并可能链接到的结构的无线网络，以来远控调节和监听。

EPX180NE 爱德华半导体材料高真空室干泵

EPX系例湿式ꦬ抽机械泵可以干净和中型半导体行业生产制造广泛采用，如灰化/剥除和植入端点站广泛ꦬ采用。

EPX类别自吸式进口水环真空泵以极轻、单纯形的封装类型供给的工具上⛎地泵模块，可完成异常处理清理的涡流度。EPX半导体技术高涡流度干泵选用已获的单轴Holweck®定级机购，并能从下垫面压抽时间到超过7x10-7Torr的限制压强。 

EPX机械泵泵是能够以功能化器件供应加强的能，既可ibms到生产工艺设备，又是能够远程关机安裝。因此，使用ibms的 MicroTIM電子功能还是能够与生产工艺设备更好树立微波通信拼接。
EPX机械泵室干泵设备在大气层压和上限机械泵室当中的经济压力下做工作，增压别墅地下室无湿润或抽真空液。那样能够 泵送混凝土设备除污，不想可能设备的放空而使油或药液离交柱到设备中。
EPX干泵的定子和关闭启动马达利用模块化化水冷散热控制回路参与待放凉。因为，EPX真空箱泵可以在确定不不能运用叶轮的洁净车间室场景下运用。待放凉水批发商和进水管管利用水金属接头（由业主指定的）连入到泵。待放凉水的保证可以与场景前提（内部含水率和摄氏度）一定，事先都不会完成结。
泵装用另一位EMC供应商油烟净化器器和另一位更改器操纵程序，该操纵程序可提拱和操纵泵电动电动机的主机电源。前盖住的LED标识标牌EPX涡流泵的的的情况。电动电动机车速依赖于于泵出口处处的压差。当泵在出口处压差地处或非常接近时尚压的的情况下开机开启时，电动电动机会加速器到就是说车速，该车速受行由更改器操纵程序提拱的电压电流禁止。如今出口处处的压差下降，电动电动机车速会减缓，终将该车速终起到其订购的大车速。如若出口处处的压差加大，则电动电动机车速会第三步减慢。
EPX L系列作品的泵不可以实行带有大量手动的操作；此类泵需完成外部链接操纵机器生产设备实行操纵和监听，而操纵机器生产设备需完成工具软件音频接口包块(TIM)无线连接到 EPX真空环境泵。
EPX真空环境泵由3个震动防晒隔离霜器完成的支持。
泵保护区感知器可在显示内部故障睡眠状态时半自动闭合泵。

EPX180NE 爱德华半导体设备高蒸空干泵适用

负债锁
传送腔
PVD 溅射
灰化/PR 剥离技术
电导电介质刻蚀

EPX题材区域的应用领域，从水治理到重度工作任务载荷的生产工艺。

EPX“N”国产其中包括一些可作为氮的洗涤的有毒气体板块，然而可将应用范围内缩小为中级工艺，在这些类工艺中预估都存在的锈蚀性蒸汽加🦹热和粒子的层次🌳较低。

EPX180NE 爱德华半导体器件高高压气干泵功用和优点
紧奏型的征占建筑规模–做能用的 的产品上泵其中之一，EPX高真空泵干泵节约了了征占建筑规模。EPX能够 可以装设到产品上，才能节约了了前级通风管道和装设成本价，只要都要也可即远程装设。
低运转料工费-EPX仅需1.4 kW的输出瓦数和资源优化配置空闲模式切换，而使可大化输出瓦数效果。
的守护机械装备配置–EPX 就能够从十足压加制冷剂到蜗轮氧分子基准线有经济压力，并就能够在进气口有经济压力下重复工作的。
环保机系统–传统的的高涡流轴承型号套底油污适用油污润滑液，这可能已成为制造交通工具中空气环保问题物。EPX高涡流泵没能高涡流轴承型号套底油污，还有不存有其余某个的未知空气环保问题物。
–EPX高进口机械泵应用场景經過实地检验的IPX，兼有1四年的MTBFp(SEMI E10)，共要每5年修补以此，大限度地提高了泵的应用年限。
可兼容的网络信息数据-EPX系类干泵可配终移动用户设定，需要相连接♓到结构设计的网络信息数据，以去诊治窃听和设定。

EPX180NE 爱德华半导体高真空干泵数据

最高值车速	170 m3h-1
	105 ft3min-1
	2835 lmin-1
级限重力作用
	<1 x 10-4 mbar
	<7.5 x 10-5 Torr
	<1 x 10-2 Pa
加热周期（高达标称能）	30 半小时
出入口法兰部	ISO63
蝶阀法兰	NW25
噪音分贝	<59 dB(A)
加热水水流量	2 lmin-1
空气循环水系统温湿度	15 – 35°C
N2市场出清插孔	1/4 in (6.5 mm) 管
惰性气体展现给工作压力	3 x 105 – 7 x 105 Pa
低氮溶解度	99.95%
电源适配器供应者	400 V，50/60 Hz，3 相
重力额定功率	1.4 kW
发电机额定公率公率	3.0 kW
TIM	无
克重	43.5 kg