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  • 产品名称:EPX180N 爱德华半导体高真空干泵

  • 产品型号:EPX180N
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
EPX180N 爱德华半导体高真空干泵采用已获的单轴 Holweck® 分级机构, 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。 EPX180N 爱德华半导体高真空干泵以极轻、极小的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。
详情介绍:
EPX180N 爱德华半导体行业高真空系统干泵概况
新的紧促型EPX180N高进口真空干泵的功能是:事业安全性能,启用资金更低。EPX180选用了的呵护机械设备系统,才能从十足压加制冷剂到超过7x10-5Torr的极限点工作压力。
包块化EPX180N对于更受赞扬、大获成就的IPX类别,可能提供的性能指标,与IPX相较,封装承重轻了20%、面积太小了 30% 且工作效率大大减少了40%。


EPX180N 爱德华半导体芯片高机械泵干泵

EPX系例干井式真空体泵适𝓀配清洗和轻形半导体芯片粗加工使用,如灰化/剥落和进入端点站使用。

EPX系列干井式真空度泵以极轻、极小的封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX半导体高真空干泵采用已获的单轴Holweck®分级机构,能够从大气压抽空到小于7x10-7Torr的极🦄限压力。 

EPX真空体泵要以电源方案化设计应用程序能提供增强学习的性能参数,既可方案化到生产工艺器具,又能远距离重新安装。然而,实现方案化的 MicroTIM电子器件电源方案还能与生产工艺器具轻松愉快树立通讯技术进行连接。
EPX真空环境度干泵体统化在霸空气事业压力和级限真空环境度彼此的事业压力下事业,增压厂区室内无保养或胶封液。怎样还可以地泵体统化擦洗,是不会为了体统化的排掉而使油或全自动流回到体统化中。
EPX干泵的定子和闭合电机顺利经过集成式化水冷散热管路经过散热。所以,EPX真空箱泵合适我不不能实用散热风扇的净化室自然环镜下实用。散热水现货供应和智能回水管顺利经过水接线头(由企业某个)衔接到泵。散热水的展示 必须要与自然环镜必备条件(室内湿度和温暖)相等于,尽量不超过结。
泵具有一EMC展示 过滤装置器和一调换器带动,该带动可展示 和把握泵步进步进电机无刷电机的电压。前盖住的LED标志EPX真空体泵的阶段。步进步进电机无刷电机访问快速关键在于于泵通道口通道处的各种各种负担值。当泵在通道口通道各种各种负担值位于或临近霸空气各种负担的症状下开机起动,步进步进电机无刷电机会提高到个别访问快速,该访问快速受会由调换器带动展示 的电流值被限。跟随通道口通道处的各种各种负担值降低,步进步进电机无刷电机访问快速会推进,一直到该访问快速终起到其预设的大访问快速。倘若通道口通道处的各种各种负担值提升,则步进步进电机无刷电机访问快速会再度减慢。
EPX L系列的的泵并不能做出半自动运营;这一些泵需经过其他操作机做出操作和侵入,而操作机需经过手段端口模组(TIM)连到到 EPX真空度泵。
EPX真空度泵由四种机械振动分隔器采取鼓励。
泵保护区感知器可在造成告警心态时半自动关掉泵。


EPX180N 爱德华半导体器件高涡流干泵用

负载锁
传输腔
PVD 溅射
灰化/PR 剥离
电介质刻蚀
EPX 系列涵盖的应用,从水处理到中度工作负载的制程。

EPX“N”系列包括一个可提供氮清洗的气体模块,从而可将应用范围扩大为中等制程,在这类制程中预期存在的腐蚀性蒸汽和微粒的程度较低。


EPX180N 爱德华半导体高真空干泵功能和优势
紧凑的占地面积–作为可用的工具上泵之一,EPX高真空干泵节省了占地面积。EPX可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。
低运行成本-EPX仅需要1.4 kW的功率和整合空闲模式,从而可大化功率效率。
的保护机械装置–EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在进气口压力下连续工作。
清洁机械装置–传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX高真空泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。
–EPX高真空泵基于经过现场验证的IPX,具有13年的MTBFp(SEMI E10),大约每5年维修一次,大程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络-EPX系列干泵配有终用户控制,可以连接到结构的网络,以进行诊断监视和控制。


EPX180N 爱德华半导体高真空干泵数据

谷值运行速度 170 m3h-1

105 ft3min-1

2835 lmin-1
极限法真空室

<1 x 104 mbar

<7.5 x 10-5 Torr

<1 x 10-2 Pa
发动机预热日子(满足标称功能) 30 半个小时
在口中卡箍 ISO63
法兰片 NW25
低频噪音 <59 dB(A)
水连接头 3/8 in 最快
蒸发水水流量 2 lm-1
冷去水平均温度 15 – 35°C
电源开关供求平衡 200/208 V,50/60 Hz 相电压
重力瓦数 1.4 kW
直流无刷电机額定马力 3.0 kW
TIM C3
自重 43.5 kg



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