企业产品祥情
  • 产品名称:EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵

  • 产品型号:EPX180LE
  • 产品厂商:Edwards
  • 产品文档:
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍:
EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵采用已获的单轴 Holweck® 分级机构, 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。 EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵以极轻、极小的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。
详情介绍:
EPX180LE 爱德华半导体技术高高压气干泵概况
新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能,运行成本更低。 EPX180 使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。

EPX LE 系列的泵具有一个终用户控制器 (EUC)。 通过终用户控制器可以实现独立使用的本地控制,并能够连接到结构的网络,以进行远程控制和监视。


EPX180LE 爱德华半导体器件高重力作用干泵

EPX系统干试真空体𓂃泵支撑保洁和中重型⛎半导体芯片制造应该用,如灰化/剥除和传递端点站应该用。

EPX系列干井式抽机械泵以极轻、极小的封装提供工具上泵送功能,♛可实现异常清洁的真🤪空。EPX半导体高真空干泵采用已获的单轴Holweck®分级机构,能够从大气压抽空到小于7x10-7Torr的极限压力。 

EPX真空系统泵够以传感器化元件出具减弱的性,既可集成系统化到制造平台,又也应该远程操作施工。不仅,经过集成系统化的 MicroTIM智能传感器还也应该与制造平台解乏构建通信系统无线连接。
EPX真空体设备干泵设备在大方压和上限真空体设备间的心理压力下岗位,增压别墅地下室无滑润或填料密封液。这个行水下混凝土设备洁面,会这是由于设备的放空而使油或液滴此回流到设备中。
EPX干泵的定子和密封电动马达借助结合化油冷控制回路去闭式制冷塔。所以说,EPX进口机械泵最适合是不支持采用排气扇的卫生室生态下采用。闭式制冷塔水批发商和循环水管借助水线接头(由加盟商设定)链接到泵。闭式制冷塔水的打造要与生态必备条件(对环境湿度的和体温)相同,事先就不会达到了结。
泵存有一两个EMC出售净化器和一两个改变器win7驱动软件软件,该win7驱动软件软件可展示 和控制泵无刷电机的电压。前扣上的LED标示牌EPX真空室泵的情況。无刷电机效率依赖于于泵用户喝进去通道的压。当泵在用户喝进去压趋于或靠近大方得体压的情況下通电时,无刷电机会会加快推进到相应效率,该效率受应该由改变器win7驱动软件软件展示 的电压受到限制。跟随着用户喝进去通道的压降底,无刷电机效率会加快推进,直接左右该效率终可达到其规定的大效率。如果你用户喝进去通道的压增多,则无刷电机效率会从新减慢。
EPX L国产的泵不实现带有大量手动操控;以下泵肯定经过外界操纵机实现操纵和的控制,而操纵机肯定经过平台接口标准引擎(TIM)接触到 EPX抽水环真空泵。
EPX真空箱泵由十个运动消毒器来的支持。

泵维护感测器器可在出来出现问题的程序时自動闭合泵。


EPX180LE 爱德华半导体芯片高机械泵干泵用途

EPX系类覆盖的使用,从水外理到轻中度工作任务额定负载的制造。

EPX“L”系列作品致力于广泛用于混凝土泵送惰性其他气体结合物(如负荷什𒆙么意思更改)且利用工艺机台接头展示的控制的的清洁运行选用。


EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵功能和优势
紧凑的占地面积–作为可用的工具上泵之一,EPX高真空干泵节省了占地面积。EPX可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。
低运行成本-EPX仅需要1.4 kW的功率和整合空闲模式,从而可大化功率效率。
的保护机械装置–EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在进气口压力下连续工作。
清洁机械装置–传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX高真空泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。
–EPX高真空泵基于经过现场验证的IPX,具有13年的MTBFp(SEMI E10),大约每5年维修一次,大程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络-EPX系列干泵配有终用户控制,可以连接到结构的网络,以进行诊断监视和控制。


EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵数据

峰峰值速率 170 m3h-1

105 ft3min-1

2835 lmin-1
极限法真空体

<1 x 104 mbar

<7.5 x 10-5 Torr

<1 x 10-2 Pa
点火用时(超过标称耐热性) 30 半个小时
填报志愿系统卡箍 ISO63
卡箍 NW25
躁声 <59 dB(A)
水线接头 3/8 in 更快的
冷却后水水流量 2 lm-1
制冷水平均温度 15 – 35°C
电供求 200/208 V,50/60 Hz 三相四线
加速度电率 1.4 kW
直流电机额定负载公率 3.0 kW
TIM
权重 43.5 kg



题头:
方面:
连续人:
找热线:
Email:
机构明称:
结合地扯:
 
 
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!
pp王者捕鱼-pp王者捕鱼网站app-电竞比赛app下载大全 MG游戏_MG游戏官网 - 【电竞比赛app下载大全】 mg游戏平台app下载-mg游戏平台官网-欢迎莅临Welcome!