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  • 产品名称:EPX180L 爱德华半导体高真空干泵

  • 产品型号:EPX180L
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
EPX180L 爱德华半导体高真空干泵采用已获的单轴 Holweck® 分级机构, 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。 EPX180L 爱德华半导体高真空干泵以极轻、极小的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。
详情介绍:
EPX180L 爱德华半导体材料高进口真空干泵现状分析
新的紧促型EPX180高真空箱干泵的性状是:的工作性,操作料工费更低。EPX180实用了的维护机诫配置,就能从大方压加制冷剂到需小于7x10-5Torr的極限压为。
组件化EPX180 根据遭到赞许、大获好的IPX产品系列,可展示 的效能,与IPX不同之处,进行包装自重轻了20%、表面积变小 30% 且热效率降低了40%。


EPX180L 爱德华半导体芯片高抽真空干泵

🎀 EPX全系列干试重力作用泵认可保洁和轻式半导体器件激光加工技术软件应用,如灰化/剥除和传递端点站技术软件应用。

EPX系列干试真空箱泵以极轻、极小的封😼装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX半导体高真空干泵采用已获的单轴Holweck®分级机构🎀,能够从大气压抽空到小于7x10-7Torr的极限压力。 

EPX进口水环真空泵可不可以电源构件化构件可不可提供提高的特性,既可一体化到生产工艺机器,又可不可远程控制按照。与此同时,依据一体化的 MicroTIM手机电源模块图片还可不可与生产工艺机器枯燥形成数据通信相连。
EPX进口涡流干泵控制模式的在美观压和极根进口涡流之間的阻力下运转,增压室内的无润滑油的作用或密封圈液。怎样应该泵送混凝土控制模式的保洁,不能正是因为控制模式的的排净而使油或透明液体此回流到控制模式的中。
EPX干泵的定子和围合启动马达能够集合化油冷二次回路实现蒸发。故而,EPX涡流泵适于在没有准许利用换气扇的净化室区域下利用。蒸发水制造和出水口管能够水拼接管(由玩家规定)拼接到泵。蒸发水的可以提供需求与区域具体条件(含水率和温度表)特别,无误不实现结。
泵可装一种EMC生产商吸附器和一种切换器推动,该推动可提高和有效控制泵开机启动电机的电原。前盖紧的LED标牌EPX蒸空泵的形态。开机启动电机流速考量于泵考区处的学习重压。当泵在考区学习重压居于或比较敏感层结压的实际情况下开机开机,开机启动电机会迅速到某些流速,该流速受也可以由切换器推动提高的功率限止。不断地考区处的学习重压减小,开机启动电机流速会提升,一直到该流速终高达其预订的大流速。一旦考区处的学习重压增大,自动上链的效率降低等不良情况的发生,则开机启动电机流速会重复减慢。
EPX L系列产品的泵难以做好自动改手动操作使用;这类泵可以要使用间接保持的机械设备做好保持和监看,而保持的机械设备可以要使用工具软件端口传感器(TIM)联接到 EPX正空泵。
EPX真空度泵由四位运动隔离霜器展开支持系统。
泵确保感应器器可在展现出现问题心态时自动化开起泵。


EPX180L 爱德华半导体器件高进口真空干泵应该用

EPX题材涉及到的应用软件,从水治疗到灶性上班环境下的生产工艺。

 EPX“L”类型我委代替水下混凝土惰性气态混合式物(如ဣ承载锁死)且用生产工艺机台插孔提高的控制的𒀰清潔运作app。


EPX180L 爱德华半导体高真空干泵功能和优势
紧凑的占地面积–作为可用的工具上泵之一,EPX高真空干泵节省了占地面积。EPX可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。
低运行成本-EPX仅需要1.4 kW的功率和整合空闲模式,从而可大化功率效率。
的保护机械装置–EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在进气口压力下连续工作。
清洁机械装置–传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX高真空泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。
–EPX高真空泵基于经过现场验证的IPX,具有13年的MTBFp(SEMI E10),大约每5年维修一次,大程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络-EPX系列干泵配有终用户控制,可以连接到结构的网络,以进行诊断监视和控制。


EPX180L 爱德华半导体高真空干泵数据

顶值极限速度 170 m3h-1

105 ft3min-1

2835 lmin-1
极限值真空室

<1 x 104 mbar

<7.5 x 10-5 Torr

<1 x 10-2 Pa
点火日子(高达标称效果) 30 分钟的时间
通道口卡箍 ISO63
蝶阀法兰 NW25
嗡嗡声 <59 dB(A)
水连接头 3/8 in 飞速
冷凝水流体密度 2 lm-1
加热水室内温度 15 – 35°C
电源线供求平衡 200/208 V,50/60 Hz 三相电机
极根电机功率 1.4 kW
伺服电机额定值效率 3.0 kW
TIM C3
净重 43.5 kg



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