物料详情介绍
  • 产品名称:STPH301C 高性能爱德华磁悬浮涡轮分子泵

  • 产品型号:STPH301C
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
STPH301C 高性能爱德华磁悬浮涡轮分子泵大的制程灵活性 STPH301C 高性能爱德华磁悬浮涡轮分子泵任意方向操作
详情介绍:
发展历程
Edwards 的高功能 STPH301C 涡轮增压分子结构泵是为严厉的半导体设配设配技术应用而开发的。这款泵經過操作检定的性和的功能应该实现了大的工艺敏锐性。STPH301C 现在已经由半导体设配设配和磁物质业的门头设配开发商投进应用,并获取了。

使用
金属件(铝)、钨和电有机溶剂(钝化物)并且 多晶硅等亚铁离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
智能螺旋嗡嗡声 (ECR) 刻蚀
塑料薄膜积累 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
铝离子添加源,射束线水下混凝土端点站
MBE
传播
光致抗蚀剂脱膜
纳米线/晶膜发芽
晶片查
电机负载锁真空室腔 
科学实验仪器设备:表层深入分析一下、质谱深入分析一下、电子技术体视显微镜
源能电学:射束线、促使器
放射性线软件应用:相结合操作系统、螺旋

模块和优劣势
的旋转叶  
更为重要的乙炔气周转量
大的生产工艺利索性
全无油
低高频振动
间距
免保养
可以用在于严于生产工艺
的寿命测试短廷长
的操控器设计制作  
电脑自动改变
擅自测试实用功能
电流发电机驱动器软件
无手机电池自动运行
紧促型设计的  
征地赔偿规模小
半机架控住器
5 轴磁漂浮装置
无影响
少保护

容易的方向实操


资料

平台入口法兰部 ISO100K
KF40
吹扫口 KF10
散热却管接头 PT1/4
抽速
  N2 300 ls-1
  H2 200 ls-1
缩减比
  N2 >108
  H2 103
微波加热时的终极各种压力 10-7 Pa

(10-9 Torr)
上海续压为 660 Pa

(5 Torr)
大氢气货运量 2500 sccm
额定负载高速度 48000 rpm
加载时间间隔 4 多分钟
高入口处活套法兰高温 120 °C
输出电压电流 100 至 120 (± 10) V 交流会或

200 至 240 (± 10) V 交流电
功耗测试 0.6 kVA
泵自重 15 kg
操控器权重 9 kg

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