类产品详情介绍
  • 产品名称:STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵

  • 产品型号:STPA2203C
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵是为半导体应用而设计的涡轮分子泵 STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵它使用的转子,可实现的性能,大的制程灵活性。全新的半机架控制器能够节省更多空间,而且采用直流驱动,无需电池即可运行。STPA2203C 已经由半导体和磁介质行业的大型刻蚀、离子注入和沉积设备制造商投入使用,并得到了。
详情介绍:
论述
Edwards STPA2203C 是为半导体器件材料选用而来设计的锅轮分子式泵。它适用的叶片,可实现了的耐磨性,大的生产工艺敏锐性。新 的半机架保持器就可以节俭越来越多地方,可是进行直流电驱动器,不需要电瓶必须执行。STPA2203C 现已由半导体器件材料和磁媒介相关行业的大中型刻蚀、化合物释放和累积机械制做商开始适用,并拥有了。

应该用
金属质(铝)、钨和电媒介(腐蚀物)及其多晶硅等正离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
电子元器件螺旋共振现象 (ECR) 刻蚀
聚酰亚胺膜岩浆岩 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
亚铁离子传递源,射束线混凝土输送泵端点站
MBE
发展
光致抗蚀剂成型
晶状体/晶膜植物生长
晶片查看
短路电流锁真空泵腔
实验议器:漆层定性分析一下、质谱定性分析一下、智能透射电镜观察
低能力学:射束线、提高器
放射线线应该用:溶合控制系统、回转

用途和优点
的马达转子设计方案  
比较高的混合气体运输量
大的生产工艺智能化性
5 轴磁透明桌面模式  
无影响
少运维
防潮蚀  
用于于严峻制造
动用使用期限加长
家用suv型来设计  
征占大小小
半机架调节器
的调节器的设计  
系统自动的调整
随意物理诊断效果
直流电调速步进电机控制包

无电瓶自动运行


数据显示

入口通道法兰部 ISO250F
KF40
吹扫口 KF10
水冷散热器却连接头 PT1/4
抽速
  N2 2200 ls-1
  H2 1700 ls-1
文件压缩比
  N2 >108
  H2 >2.5 x 104
重力压为 10-6 Pa

(10-8 Torr)
支持的大前级压差 400 Pa

(3 Torr)
大离氮气货运量 1500 sccm
载荷系数加速度 27000 rpm
再启动准确时间 7 1分钟
进行固定部位 任意尺寸
散热却用户 2 lmin-1
散热却温湿度 5-25 °C
负荷 0.3 MPa
的吹扫汽体2g流量 20 sccm
进入交流电压 200 至 240 (± 10) V 讨论会
功能消耗 1.5 kVA
泵载重量 61 kg
把控器总重 12 kg


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