产品名称：STPA1603C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵

概要
小而的 Edwards STPA1603C 增压分子式泵用到 Edwards 的叶轮来进行设计制作。它供给较高的发送量、高的性和的使用效能，提供半导体行业工艺的还要。其半机架的控住器和密集型设计制作可节约了大的空间区域，而于的岩浆岩减轻系统性改善了性和使用效能。STPA1603C 逐渐在新的 200 mm 刻蚀方法上赢得了證明，也是可以够提供 300 mm 脱色物防腐蚀工艺的还要。

运用
合金材料（铝）、钨和电物质（氧化的物）并且多晶硅等化合物刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子元器件旋回震荡 (ECR) 刻蚀
溥膜基性岩 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
阳离子添加源，射束线混凝土输送泵端点站
MBE
扩散转移
光致抗蚀剂起模
晶状体/晶膜种子发芽
晶片查看
阻抗锁蒸空腔
物理学实验室设备：表面层定量数据分析、质谱定量数据分析、电子器材显微镜观察
高激光物理上的：射束线、加快器
牵扯线选用：重构操作系统、旋回

功能性和主要优势
的定子和转子的设计  
问题解决的耐腐蚀性
更强的有毒气体周转量
高
免维持
需用于严历生产工艺
5 轴磁飘浮系统  
无感染
低震动问题
防腐处理蚀  
能作于严厉工艺
应用质保期延长至
宽敞型结构设计  
土地征用大小小
半机架有效控制机
的操作器设汁 
全自动调整
私自诊治基本功能
整流同步电机控制包
无电芯加载

参数