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  • 产品名称:STPA1603C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵

  • 产品型号:STPA1603C
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
STPA1603C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵 STPA1603C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵
详情介绍:
概要
小而的 Edwards STPA1603C 增压分子式泵用到 Edwards 的叶轮来进行设计制作。它供给较高的发送量、高的性和的使用效能,提供半导体行业工艺的还要。其半机架的控住器和密集型设计制作可节约了大的空间区域,而于的岩浆岩减轻系统性改善了性和使用效能。STPA1603C 逐渐在新的 200 mm 刻蚀方法上赢得了證明,也是可以够提供 300 mm 脱色物防腐蚀工艺的还要。

运用
合金材料(铝)、钨和电物质(氧化的物)并且多晶硅等化合物刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
电子元器件旋回震荡 (ECR) 刻蚀
溥膜基性岩 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
阳离子添加源,射束线混凝土输送泵端点站
MBE
扩散转移
光致抗蚀剂起模
晶状体/晶膜种子发芽
晶片查看
阻抗锁蒸空腔
物理学实验室设备:表面层定量数据分析、质谱定量数据分析、电子器材显微镜观察
高激光物理上的:射束线、加快器
牵扯线选用:重构操作系统、旋回

功能性和主要优势
的定子和转子的设计  
问题解决的耐腐蚀性
更强的有毒气体周转量

免维持
需用于严历生产工艺
5 轴磁飘浮系统  
无感染
低震动问题
防腐处理蚀  
能作于严厉工艺
应用质保期延长至
宽敞型结构设计  
土地征用大小小
半机架有效控制机
的操作器设汁 
全自动调整
私自诊治基本功能
整流同步电机控制包
无电芯加载


参数

入口处卡箍 ISO200F
KF40
吹扫口 KF16
水冷散热器却直接头 PT1/4
抽速
  N2 1600 ls-1
  H2 1200 ls-1
减少比
  N2 >108
  H2 >7 x 103
微波加热时的级限有压力 10-7 Pa
大不得前级压 266 Pa

(2 Torr)
大N2货运量 2500 sccm
固定快速 36500 rpm
开始事件 7 7分钟
加固位址 符合各种
水冷式却客流量 2 lmin-1
湿度 5-25 °C
压力差 0.3 MPa
的吹扫固体总流量 20 sccm
输进的电压 200 至 240 (± 10) V 互动
功能消耗 0.85 kVA
泵自重 35 kg
有效传感器毛重 9 kg

名称:
信息内容:
认识人:
结合电话号:
Email:
司命名:
链接地此:
 
 
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!
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