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  • 产品名称:STPA1303C Edwards涡轮分子泵

  • 产品型号:STPA1303C
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
STPA1303C Edwards涡轮分子泵是为半导体应用而设计的磁悬浮涡轮分子泵。 STPA1303C Edwards涡轮分子泵是Edwards 的转子可实现的性能和大的制程灵活性。STPA1303C 已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了。
详情介绍:
阐述
Edwards STPA1303C 是为半导材料应用领域而定制的涡轮增压碳原子泵。Edwards 的电机定转子可体现的的性能和大的工艺协调性性。STPA1303C 就已经由半导材料和磁媒介产业的新型机械设备生产加工商投入量安全使用,并取到了。

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合金(铝)、钨和电媒介(防非金属氧化物)包括多晶硅等正离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
光电子螺旋震荡 (ECR) 刻蚀
贴膜累积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
铁离子加入源,射束线地泵端点站
MBE
扩散转移
光致抗蚀剂起模
晶胞/晶膜成长
晶片全面检查
载荷锁高压气腔
科学有效检测仪器:的表面讲解、质谱讲解、网络体视显微镜
大能工具:射束线、网络加速器器
放射学线应用软件:相结合系統、旋回

系统和优势与劣势
的电机定转子  
越来越高的实验室气体发送量
大的制造敏锐性
全无油
低震动幅度
位置
免维护
能用于严峻工艺
施用使用期限缩短
的操控器设计构思  
一键调整
立刻测试特点
直流电压无刷电机带动
无充电操作
紧凑轿车型设计构思  
征地赔偿表面积小

半机架把控好器


数剧

吃下法兰部 ISO200F
KF40
吹扫口 KF10
风待冷却连接管 PT1/4
抽速
  N2 1300 ls-1
  H2 800 ls-1
解压缩比
  N2 >108
  H2 103
热处理加热时的加速度各种压力 10-7 Pa

(10-9 Torr)
青岛续各种压力 270 Pa

(2 Torr)
大离氮气货运量 1500 sccm
额定值流速 32500 rpm
运行耗时 7 多分钟
高入口处法兰盘温差 120 °C
插入电压电流 200 至 240 (± 10) V 互动交流
工作电压 0.85 kVA
泵含水量 39 kg
调节器权重 9 kg

油冷却塔

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