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  • 产品名称:STPA803C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵

  • 产品型号:STPA803C
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
STPA803C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵 STPA803C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵
详情介绍:
概要
Edwards STPA803C 泄压阀大分子泵是为半导体技术材料应该用而构思的。Edwards 的定子和转子可确保的安全性能和大的手工制造利索性。STPA803C 就已经由半导体技术材料和磁媒介该行业的大一些的产品手工生产制造商投进选用,并拥有了。

操作
金属质(铝)、钨和电物质(钝化物)及及多晶硅等亚铁离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
電子旋回共鸣 (ECR) 刻蚀
bopp薄膜磨合 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
铝离子注射到源,射束线泵送混凝土端点站
MBE
对外扩散
光致抗蚀剂成型
结晶/晶膜生长的
晶片检杳
额定负载锁真空度腔
科学学医疗仪器:外表介绍、质谱介绍、网络高倍显微镜
微高物理化学:射束线、t迅游加速器
射线线选用:容合机系统、螺旋

基本功能和其优势
的叶片 
大的生产工艺智能化性
无油版
低震动
高速
免运维
可作于严格生产工艺
应用蓄电量缩短
的调控器制定 
自主设定
强制的诊断功能表
直流电压主轴电机动力
无微型蓄电池正常运作
紧奏型suv型设定 
征地赔偿面积计算小
半机架掌握器


技術データ

用户入口法兰片 ISO160F
KF40
吹扫口 KF10
油待冷却直接头 PT1/4
抽速
  N2 800 ls-1
  H2 520 ls-1
文件压缩比
  N2 >108
  H2 103
供暖时的极限法的压力 10-7 Pa (10-9 Torr)
沈阳市续心理压力 270 Pa (2 Torr)
大氢气运输量 1500 sccm
额定负载速度慢 32500 rpm
启动服务器期限 7 多分钟
高通道活套法兰温 120 °C
键入直流电压 200 至 240 (± 10) V 交流学习
工作电压 0.85 kVA
泵总重量 39 kg
把控器净重 9 kg

版头:
游戏内容:
连系人:
联络手机 :
Email:
集团公司种类:
结合电话号码:
 
 
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!
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