產品详细信息
  • 产品名称:STP1003C 防腐蚀型爱德华磁悬浮涡轮分子泵

  • 产品型号:STP1003C
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
STP1003C 防腐蚀型爱德华磁悬浮涡轮分子泵是的涡轮分子泵,可用于的半导体应用。 STP1003C 防腐蚀型爱德华磁悬浮涡轮分子泵是Edwards 的转子可实现的性能,大的制程灵活性。这种泵已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了。
详情介绍:
阐述
Edwards 抗防蚀蚀 STP1003C 是的泄压阀大分子泵,也可以于的半导加工行业软件应用。Edwards 的叶轮可进行的耐磨性,大的工艺灵亲水性性。这样的泵就已经由半导加工行业和磁材质加工行业的专业环保设备加工商投进利用,并实现了。

广泛应用
材料(铝)、钨和电有机溶剂(空气氧化物质)或者多晶硅等化合物刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
电子元器件回转震动 (ECR) 刻蚀
pe膜磨合 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
亚铁离子加入源,射束线水下混凝土端点站
MBE
外扩散
光致抗蚀剂脱膜
单晶体/晶膜滋生
晶片诊断
载荷锁蒸空腔
地理学检测设备:接触面进行探讨、质谱进行探讨、光电子光学显微镜
低能物理学:射束线、减速器
放射性线用:融和机系统、旋回

能力和优劣势
的定子和转子  
大的制造迟钝性
无油版
低高频振动
非常
免系统维护
能用于严谨生产工艺(C 型)
选用平均寿命增长
的管控器构思  
系统自动调节
进行检验功能性
直流电压电动机驱动软件
无手机电池自动运行
密集型制作  
征地赔偿平数小

半机架把控器


数据资料

闸道法兰片 ISO200F
KF40
吹扫口 KF10
抽速
  N2 1000 ls-1
  H2 800 ls-1
缩短比
  N2 >108
  H2 >105
供暖时的极限值压强(VG/ISO 活套法兰) 10-7 Pa

(10-9 Torr)
升温时的重力压(ICF 蝶阀法兰) 10-8 Pa

(10-10 Torr)
沈阳续有压力 13 Pa

(0.1 Torr)
功率车速 35000 rpm
运行周期 6 15分钟
高进口法兰片热度 120 °C
输出端电压 100 至 120 (± 10) V 交流电或

至 240 (± 10) V 互动交流
重启时的功率 0.8 kVA
泵自重 31 kg
控制器接线图总重 9 kg

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注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!
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