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  • 产品名称:STP1003 DN200CF 爱德华涡轮分子泵

  • 产品型号:STP1003
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
STP1003 DN200CF 爱德华涡轮分子泵是的涡轮分子泵,可用于的半导体应用。 STP1003 DN200CF 爱德华涡轮分子泵是Edwards 的转子可实现的性能,大的制程灵活性。这种泵已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了。
详情介绍:
现状分析
Edwards STP1003 是的涡轮机原子核泵,都可以于的光电器件器件技术应用。Edwards 的叶轮可控制的特性,大的创造灵活多变性。这一泵已是由光电器件器件和磁媒介服务行业的大型的的设备创造商投资回报食用,并拥有了。

选用
金屬(铝)、钨和电媒质(氧化的物)相应多晶硅等阴离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
光电旋回震荡 (ECR) 刻蚀
保护膜沉淀 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
阴离子引入源,射束线水下混凝土端点站
MBE
散出
光致抗蚀剂出模
结晶体/晶膜种植
晶片体检
电机负载锁涡流腔
科学的实验室设备:单单从表面研究讲解、质谱研究讲解、智能电子体视显微镜
大能物理性:射束线、降速器
牵扯线APP:交融软件、回转

模块和主要优势
的定子和转子  
大的生产工艺智能化性
全无油
低震动
特别
免维修保养
可作于严酷工艺(C 型)
用期限调长
的把握器构思  
自己改变
立刻测试的功能
交流电电机的安装驱动
无干电池启用
紧身型方案  
占地坪积绿地面积小

半机架控制系统


数据统计

通道口活套法兰 ISO200F
KF40
吹扫口 KF10
抽速
  N2 1000 ls-1
  H2 800 ls-1
缩短比
  N2 >108
  H2 >105
进行加热时的极限法负压(VG/ISO 活套法兰) 10-7 Pa

(10-9 Torr)
加水时的极限点压强(ICF 卡箍) 10-8 Pa

(10-10 Torr)
青岛续负荷 13 Pa

(0.1 Torr)
功率线速度 35000 rpm
启动服务器日子 6 钟头
高无线运营中心卡箍温湿度 120 °C
显示交流电压 100 至 120 (± 10) V 交流沟通或

至 240 (± 10) V 座谈会
起动时的功能消耗 0.8 kVA
泵净重 31 kg
操作器重量体积 9 kg

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