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  • 产品名称:STP301 ISO100 Edwards真空涡轮分子泵

  • 产品型号:STP301
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
STP301 ISO100 Edwards真空涡轮分子泵用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子可实现的性能,大的制程灵活性。 STP301 ISO100 Edwards真空涡轮分子泵已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了。
详情介绍:
慨述
Edwards STP301 用到智能电子显微镜和半导体专用设备技术应该用。Edwards 的滑片可保持的耐磨性,大的生产工艺灵便性。STP301 以及由学科医疗仪器、半导体专用设备技术和磁物料领域的新型专用设备造成商进入施用,并得见了。
此 STP 泵在供货期时带着填报志愿系统网孔。 
如需详尽重新安装,请预定两台 STP 泵、个调节器、三根连入电揽电线和三根电电揽电线。
 

金属件(铝)、钨和电有机溶剂(氧化反应物)甚至多晶硅等铁离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
电子厂旋回共鸣 (ECR) 刻蚀
pe膜的堆积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
铁离子流入源,射束线地泵端点站
MBE
吸附
光致抗蚀剂成膜
晶状体/晶膜生长发育
晶片排查
额定负载锁真空室腔
完美分折仪器:面上分折、质谱分折、光电子光学显微镜
源能高中物理:射束线、t迅游加速器

牵扯线APP:相融系统化、螺旋


职能和优劣势
的电机定转子  
大的制造比较灵催化活性
隔膜真空泵
低振动模式
位置
免维修保养
的的智能控制器来设计  
自动的更改
私自检验基本功能
整流马达动力
无充电电池执行
狭窄型结构设计  
占大理石地户型面积户型面积小
半机架操控器

技術データ

在口中法兰部 ISO100,CF100
KF25
抽速
  N2 300 ls-1
  H2 300 ls-1
文件压缩比
  N2 >108
  H2 >2 x 104
蒸汽加热时的上限压强(VG/ISO 卡箍) 6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)
电加热时的极限法各种压力(ICF 活套法兰) 10-8 Pa (10-10 Torr)
大支持进气口工作压力(区域环境室内空气冷确) 0.066 Pa (5 x 10-4 Torr)
抚顺续负荷(环保空气质量冷凝) 13 Pa (0.1 Torr)
载荷系数时间 48000 rpm
开启时候 3 min
高通道法兰片溫度 120 °C
手机输入相电压 100 至 120 (± 10%) V 沟通交流或

200 至 240 (± 10%) V 座谈会
重启时的耗电量 0.55 kVA
泵容量 11 kg
保持器总重量 7 kg


问题:
玩法:
连接人:
连续打电话:
Email:
公司的名字:
联络门店地址:
 
 
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!
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