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  • 产品名称:STP-XA4503C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵

  • 产品型号:STP-XA4503C
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
STP-XA4503C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵此泵基于新的设计,提供功能以改善热管理,从而增强在严苛制程中的性能,提高大制程流能力,并减少腐蚀和沉积的影响。 STP-XA4503C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵具有很宽的制程范围(从高真空到高流量要求),对气体都具有更高的吞吐量。
详情介绍:
製品内容提要
STP-XA4503C 磁场轴套增压大分子泵更具很宽的生产工艺领域(从高抽真空到高国内流量规定要求),对气休都更具高的发送量。  
此泵为新的设计,打造功能表以资料散热片理,然而资料在苛求制造中的效能,提高自己大制造流的能力,并提高被腐蚀和岩浆岩的不良影响。 
它制定成既会清理轻柔的运用,也会清理严历的运用,举列刻蚀、装入、光刻和 FPD 工艺。

技能和优质
的叶片构思
改造的氩气机械性能
同一种厂品中抽速高
宽的工艺区间
在较高压低压力下兼有较高的货运量
免维护保养
可以用在于苛刻工艺
5 轴磁浮窗系统软件
无被污染的
低高频振动
髙度
经SEO优化的热度配置
混厚积
预置水冷却自动化设备传动装置
最高的乙炔气周转量
采用期限延长至

完全符合规范

列于 UL 中,有着 CE 标注,复合 SEMI® S2


统计数据

吃下法兰部尽寸 VF300、ISO320F、VG350
前级抽气口尺寸 KF40
抽速
  N2 3800 至 4300 ls-1

(依赖于于大概产品型号)
  H2 2500 ls-1
压缩视频比
  N2 >108
  H2 6 x 103
人体极限学习压力 10-7 Pa / 10-9 mbar
大能接受前级压力值 266 Pa / 2.66 mbar
大可以有机废气气体留量 N2
(仅水冷散热却)
2800 sccm

4.73 Pam3s-1
大能够实验室气体用户量 Ar
(仅散热却)
2150 sccm

3.63 Pam3s-1
额定值速率 24000 rpm
旋转到 90% 额定负载速度快的用时 12 小时
固定好的位置 其它方位
风冷凝
  用户量 3 lmin-1
  温暖 5 – 25 °C / 41 – 77 °F
  压力值 0.3 MPa
的吹扫气态精准流量 N2 50 sccm/8.4 x 10-2 Pam3s-1
键入电阻值 200 – 240 ±10 % V 交流学习
大复制粘贴瓦数(不加 TMS) 1.5 KVA


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