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物料商品详情页
简单介绍：
STP-XA4503C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵此泵基于新的设计，提供功能以改善热管理，从而增强在严苛制程中的性能，提高大制程流能力，并减少腐蚀和沉积的影响。
STP-XA4503C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵具有很宽的制程范围（从高真空到高流量要求），对气体都具有更高的吞吐量。
详情介绍：
製品内容提要
STP-XA4503C 磁场轴套增压大分子泵更具很宽的生产工艺领域（从高抽真空到高国内流量规定要求），对气休都更具高的发送量。
此泵为新的设计，打造功能表以资料散热片理，然而资料在苛求制造中的效能，提高自己大制造流的能力，并提高被腐蚀和岩浆岩的不良影响。
它制定成既会清理轻柔的运用，也会清理严历的运用，举列刻蚀、装入、光刻和 FPD 工艺。
技能和优质
的叶片构思
改造的氩气机械性能
同一种厂品中抽速高
宽的工艺区间
在较高压低压力下兼有较高的货运量
免维护保养
可以用在于苛刻工艺
5 轴磁浮窗系统软件
无被污染的
低高频振动
髙度
经SEO优化的热度配置
混厚积
预置水冷却自动化设备传动装置
最高的乙炔气周转量
采用期限延长至
完全符合规范
STP-XA4503C 磁场轴套增压大分子泵更具很宽的生产工艺领域（从高抽真空到高国内流量规定要求），对气休都更具高的发送量。
此泵为新的设计，打造功能表以资料散热片理，然而资料在苛求制造中的效能，提高自己大制造流的能力，并提高被腐蚀和岩浆岩的不良影响。
它制定成既会清理轻柔的运用，也会清理严历的运用，举列刻蚀、装入、光刻和 FPD 工艺。
技能和优质
的叶片构思
改造的氩气机械性能
同一种厂品中抽速高
宽的工艺区间
在较高压低压力下兼有较高的货运量
免维护保养
可以用在于苛刻工艺
5 轴磁浮窗系统软件
无被污染的
低高频振动
髙度
经SEO优化的热度配置
混厚积
预置水冷却自动化设备传动装置
最高的乙炔气周转量
采用期限延长至
完全符合规范
列于 UL 中，有着 CE 标注，复合 SEMI® S2
统计数据
| 吃下法兰部尽寸 | VF300、ISO320F、VG350 |
| 前级抽气口尺寸 | KF40 |
| 抽速 |
|
| N2 | 3800 至 4300 ls-1 |
|
|
（依赖于于大概产品型号） |
| H2 | 2500 ls-1 |
| 压缩视频比 |
|
| N2 | >108 |
| H2 | 6 x 103 |
| 人体极限学习压力 | 10-7 Pa / 10-9 mbar |
| 大能接受前级压力值 | 266 Pa / 2.66 mbar |
|
大可以有机废气气体留量 N2 （仅水冷散热却） |
2800 sccm |
|
|
4.73 Pam3s-1 |
|
大能够实验室气体用户量 Ar （仅散热却） |
2150 sccm |
|
|
3.63 Pam3s-1 |
| 额定值速率 | 24000 rpm |
| 旋转到 90% 额定负载速度快的用时 | 12 小时 |
| 固定好的位置 | 其它方位 |
| 风冷凝 |
|
| 用户量 | 3 lmin-1 |
| 温暖 | 5 – 25 °C / 41 – 77 °F |
| 压力值 | 0.3 MPa |
| 的吹扫气态精准流量 N2 | 50 sccm/8.4 x 10-2 Pam3s-1 |
| 键入电阻值 | 200 – 240 ±10 % V 交流学习 |
| 大复制粘贴瓦数（不加 TMS） | 1.5 KVA |