产品名称：STP-XA3203C ISO320F 爱德华磁悬浮涡轮分子泵

分析
STP-XA3203C 涡轮机泵为高进口真空到 2300 sccm 制造流的制造标准内给出高耐腐蚀性，并延长其他气体的货运量。 
此泵系统设计的概念新的服务平台设计的概念，出具的功能以可以改善散热管理，以此改善在严谨生产工艺中的稳定性，从而提高大生产工艺流业务能力，并可以减少结垢和累积的引响。
其优秀的能既支持于柔和的软件周围学习环境，也支持于严格要求的周围学习环境，比如说半导体技术刻蚀、装入、光刻和 LCD 制造。

运用
废金属（铝）、钨和电材质（防非金属氧化物）或者多晶硅等亚铁离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回转震动 (ECR) 刻蚀
pet薄膜沉积物 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
铝离子植入源，射束线混凝土泵送端点站
MBE
外扩散
光致抗蚀剂起模
晶状体/晶膜繁殖
晶片查
短路电流锁正空腔
科学技术实验室设备：外壁了解、质谱了解、光电显微镜观察
低能高中物理：射束线、提速器

射线线应用软件：结合体统、回转

特点和胜机
的定子规划  
激发的 H2、N2 和 Ar 功效
完善了在高真空度到 2300 sccm 工艺负担区间内的性能参数
免服务器维护
5 轴磁浮动系統  
无的污染
低高频振动
性力矩管理制度  
得到 的电动机扭矩极大减少物理系统
提升的的温度工作系统软件  
高温度 TMS 实力
沉闷积
内裝置冷却塔机械制造裝置
高的有机废气气体运输量（加熱和未加熱）
延长了生命周期
可以使用于严峻工艺
 
适合 SEMI®，还具有 CE 标识，列于 UL 中

数据报告