成品淘宝手机端
  • 产品名称:STP-XA2703C VG250 爱德华真空磁悬浮涡轮分子泵

  • 产品型号:STP-XA2703C
  • 产品厂商:Edwards
  • 产品文档:
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍:
STP-XA2703C VG250 爱德华真空磁悬浮涡轮分子泵为高真空到 2300 sccm 制程流的制程范围内提供高性能,并提高气体的吞吐量。 STP-XA2703C VG250 爱德华真空磁悬浮涡轮分子泵此泵基于新的平台设计,提供功能以改善热管理,从而增强在严苛制程中的性能,提高大制程流能力,并减少腐蚀和沉积的影响。
详情介绍:
概况
STP-XA2703C 涡轮机泵为高真空系统到 2300 sccm 工艺流的工艺区间内打造高耐腐蚀性,并的提升气休的货运量。 
此泵通过新的的平台装修设计,出示模块以下降导热管理,关键在于资料在严于制造中的稳定性,提生大制造流力量,并下降生锈和火成岩的会影响。 
其优异的的性能既可使于于轻柔的软件环保,也可使于于苛刻的环保,诸如半导体芯片刻蚀、赋予、光刻和 LCD 工艺。

使用
塑料(铝)、钨和电导电介质(氮化合物物)或是多晶硅等阴阳离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
网上旋回振动 (ECR) 刻蚀
膜的堆积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
阴阳离子吸取源,射束线地泵端点站
MBE
对外扩散
光致抗蚀剂起模
硫化锌/晶膜种子发芽
晶片查看
阻抗锁真空箱腔
科学实验测试仪器:从表面研究分析一下、质谱研究分析一下、光透射电镜观察
高可物理化学:射束线、快速器

射线线技术应用:结合操作系统、旋回


实用功能和好处
的叶轮设计制作  
增强学习的 H2、N2 和 Ar 特性
改良了在高重力作用到 2300 sccm 生产工艺气压面积内的机械性能
免维保
5 轴磁浮悬体系  
无环保问题
低振动式
性力矩管理系统  
获得了的惯量抑制机械设备制造装置设备
seo的温差操作系统  
高热 TMS 能力素质
沙哑积
内设水冷却物理设备
最高的乙炔气运输量(采暖器和未采暖器)
延长时间期限
需用于苛刻工艺
 
适合 SEMI®,兼有 CE 标记符号,列于 UL 中

的数据

吃下蝶阀法兰 VG250
抽速
  N2 2650 ls-1
  H2 2050 ls-1
缩减比
  N2 >108
  H2 >6 x 103
极限值压强 10-7 Pa
大限制前级负荷 266 Pa
大可以气态水流量
N2(散热却) 2300 sccm

(3.8 Pam3s-1)
Ar(风冷却水) 1900 sccm

(3.2 Pam3s-1)
额定容量速度慢 27500 rpm
发动时刻 8 min
紧固角度 一些定位
水冷式却访问量 3 lmin-1
水冷式却温湿度 5-25 °C (41-77 °F)
负压 0.3 MPa
的吹扫气物访问量 50 sccm (8.4 x 10-2 Pam3s-1)
填写相电压 200 至 240 V 交流会(± 10)
功能损耗 1.5 kVA
泵克重 75 kg (165 lb)
掌控器净重 12 kg (26.4 lb)

问题:
项目:
认识人:
练习电活:
Email:
电竞比赛app下载大全名稱:
关系地扯:
 
 
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!
pp王者捕鱼-pp王者捕鱼网站app-电竞比赛app下载大全 MG游戏_MG游戏官网 - 【电竞比赛app下载大全】 mg游戏平台app下载-mg游戏平台官网-欢迎莅临Welcome!