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產品宝贝详情
简单介绍:
STP-L301C ISO100 爱德华真空涡轮分子泵为Edwards 的防腐蚀 STP-L301(C) 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子可实现的性能,大的制程灵活性。
STP-L301C ISO100 爱德华真空涡轮分子泵已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了。
详情介绍:
阐述
Edwards 的防耐腐蚀蚀 STP-L301(C) 用以电子器件光学显微镜和光电器件APP。Edwards的电机定转子可控制的性能指标,大的工艺具备灵特异性高性。
STP-L301(C) 逐渐由实验测试仪器、半导体机器和磁物质职业的魔幻机器加工生产电竞比赛app下载大全投入到利用,并能够了。
选用
金属材料(铝)、钨和电导电介质(空气氧化物质)以其多晶硅等阳离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
网上旋回震动 (ECR) 刻蚀
塑料膜沉积状 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
铝离子进入源,射束线混凝土输送泵端点站
MBE
发展
光致抗蚀剂起模
晶胞/晶膜生长发育
晶片查验
阻抗锁涡流腔
科学性设备:漆层解析、质谱解析、微电子体视显微镜
高激光高中物理:射束线、会加快器
放射学线用:构建体系、螺旋
的功能和其优势
的滑片
大的工艺方便性
隔膜真空泵
低共振
位置
免维持
的控住器设计
手动设定
自己进行疾病诊断性能
直流电发电机控制器包
无电板运转
紧奏型型制作
占地坪积规模小
半机架掌握器
低振动式
预置振动式底部隔离防晒系统的展示 了 STP301C 和第三方底部隔离防晒器的特点。
Edwards 的防耐腐蚀蚀 STP-L301(C) 用以电子器件光学显微镜和光电器件APP。Edwards的电机定转子可控制的性能指标,大的工艺具备灵特异性高性。
STP-L301(C) 逐渐由实验测试仪器、半导体机器和磁物质职业的魔幻机器加工生产电竞比赛app下载大全投入到利用,并能够了。
选用
金属材料(铝)、钨和电导电介质(空气氧化物质)以其多晶硅等阳离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
网上旋回震动 (ECR) 刻蚀
塑料膜沉积状 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
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MBE
发展
光致抗蚀剂起模
晶胞/晶膜生长发育
晶片查验
阻抗锁涡流腔
科学性设备:漆层解析、质谱解析、微电子体视显微镜
高激光高中物理:射束线、会加快器
放射学线用:构建体系、螺旋
的功能和其优势
的滑片
大的工艺方便性
隔膜真空泵
低共振
位置
免维持
的控住器设计
手动设定
自己进行疾病诊断性能
直流电发电机控制器包
无电板运转
紧奏型型制作
占地坪积规模小
半机架掌握器
低振动式
预置振动式底部隔离防晒系统的展示 了 STP301C 和第三方底部隔离防晒器的特点。
参数
通道法兰片 | ISO100,CF100 |
KF25 | |
吹扫口 | KF10 |
抽速 |
|
N2 | 260 ls-1 |
H2 | 290 ls-1 |
缩短比 |
|
N2 | >108 |
He | 5 x 105 |
H2 | 2 x 104 |
调温时的极限的压为(VG/ISO 法兰部) | 6.5 x 10-6 Pa |
|
(5 x 10-8 Torr) |
加温时的极限点工作压力(ICF 法兰片) | 10-8 Pa |
|
(10-10 Torr) |
大能够进气口重压(环境热空气保压) | 6.7 x 10-2 Pa |
|
(5 x 10-4 Torr) |
大连市续的压力(区域空气中急冷) | 13 Pa |
|
(0.1 Torr) |
额定负载时间 | 48000 rpm |
重启时间段 | 3 min |
高进气口卡箍室温 | 120 °C |
读取直流电压 | 100 至 120 (± 10) V 联席会或 |
|
200 至 240 (± 10) V 联席会 |
加载时的显卡功耗 | 0.55 kVA |
泵体重 | 13 kg |
的驱动器单重 | 7 kg |