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  • 产品名称:STP-L301C ISO100 爱德华真空涡轮分子泵

  • 产品型号:STP-L301C
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
STP-L301C ISO100 爱德华真空涡轮分子泵为Edwards 的防腐蚀 STP-L301(C) 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子可实现的性能,大的制程灵活性。 STP-L301C ISO100 爱德华真空涡轮分子泵已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了。
详情介绍:
阐述
Edwards 的防耐腐蚀蚀 STP-L301(C) 用以电子器件光学显微镜和光电器件APP。Edwards的电机定转子可控制的性能指标,大的工艺具备灵特异性高性。 
STP-L301(C) 逐渐由实验测试仪器、半导体机器和磁物质职业的魔幻机器加工生产电竞比赛app下载大全投入到利用,并能够了。

选用
金属材料(铝)、钨和电导电介质(空气氧化物质)以其多晶硅等阳离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
网上旋回震动 (ECR) 刻蚀
塑料膜沉积状 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
铝离子进入源,射束线混凝土输送泵端点站
MBE
发展
光致抗蚀剂起模
晶胞/晶膜生长发育
晶片查验
阻抗锁涡流腔
科学性设备:漆层解析、质谱解析、微电子体视显微镜
高激光高中物理:射束线、会加快器
放射学线用:构建体系、螺旋

的功能和其优势
的滑片  
大的工艺方便性
隔膜真空泵
低共振
位置
免维持
的控住器设计  
手动设定
自己进行疾病诊断性能
直流电发电机控制器包
无电板运转
紧奏型型制作  
占地坪积规模小
半机架掌握器
低振动式  
预置振动式底部隔离防晒系统的展示 了 STP301C 和第三方底部隔离防晒器的特点。


参数

通道法兰片 ISO100,CF100
KF25
吹扫口 KF10
抽速
  N2 260 ls-1
  H2 290 ls-1
缩短比
  N2 >108
  He 5 x 105
  H2 2 x 104
调温时的极限的压为(VG/ISO 法兰部) 6.5 x 10-6 Pa

(5 x 10-8 Torr)
加温时的极限点工作压力(ICF 法兰片) 10-8 Pa

(10-10 Torr)
大能够进气口重压(环境热空气保压) 6.7 x 10-2 Pa

(5 x 10-4 Torr)
大连市续的压力(区域空气中急冷) 13 Pa

(0.1 Torr)
额定负载时间 48000 rpm
重启时间段 3 min
高进气口卡箍室温 120 °C
读取直流电压 100 至 120 (± 10) V 联席会或

200 至 240 (± 10) V 联席会
加载时的显卡功耗 0.55 kVA
泵体重 13 kg
的驱动器单重 7 kg

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注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!
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