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  • 产品名称:STP-iXA2206C ISO250F 爱德华涡轮分子泵

  • 产品型号:STP-iXA2206C
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
STP-iXA2206C ISO250F 爱德华涡轮分子泵为磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 STP-iXA2205 系列的新)。 STP-iXA2206C ISO250F 爱德华涡轮分子泵该泵的高度等于 STP-A2203C 的高度,也等于 STP-iXA2205 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。
详情介绍:
概要
STP-iXA2206 编作品磁浮窗增压原子泵可提供了行业内的功效,可将中型电源模块模块供求平衡二合一化到机载操控器内(熟的 STP-iXA2205 编作品的新)。 该泵的程度相等 STP-A2203C 的程度,也相等 STP-iXA2205 编作品(没有其电源模块模块供求平衡 (iPS-1200))的程度。 哪一二合一化的物料更易进行安装且拆迁赔偿建筑面积小,可当为适用道具的二合一化防止策划方案。

用途
轻金属(铝)、钨和电媒介(硫化物)已经多晶硅等铝离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
电子技术旋回共振现象 (ECR) 刻蚀
聚酰亚胺膜沉淀 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
正离子赋予源,射束线泵送混凝土和站

特性与优势
宽敞型制作,以及模块化的控住器
性自感知磁性滑动轴承软件
字母化 5 轴管控
与目前拥有涡轮机泵差距共振职别减轻了 50%
会系统配置为正常运作耐腐蚀影响制造


统计资料

吃下法兰片宽度 ISO250F/VG250/ICF305
前级抽气口大小 KF40
抽速 N2/Ar 2200/1900 ls-1
压解比 N2/H2 >108 / 1 x 104
超凡心理压力 10-7 Pa (10-9 Torr)
准许的前级压差 266  Pa (2 Torr)
包气流 N2 (仅散热) 3000 sccm

(5.07 Pam3s-1)
典雅流 Ar (仅水冷散热) 1400 sccm

(2.36 Pam3s-1)
額定速度快 27000 rpm
高速运转到 90% 額定线速度的精力 <8 半小时
规定定位 任何人导向
显示电阻 200-240 V
大输人输出功率(没有 TMS) 1200 VA
质量 62 kg

臭氧层流适于于在 15-25 °C 相互的油放置冷却的温度下间隔地泵 N2 或 Ar 实验室气体,同时的使用前级泵(10,000 l/min 的大小)的症状。 它会随水平转变而转变。

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