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的产品宝贝详情
简单介绍：
STP-iXA2206C ISO250F 爱德华涡轮分子泵为磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的 STP-iXA2205 系列的新）。
STP-iXA2206C ISO250F 爱德华涡轮分子泵该泵的高度等于 STP-A2203C 的高度，也等于 STP-iXA2205 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。
详情介绍：
概要
STP-iXA2206 编作品磁浮窗增压原子泵可提供了行业内的功效，可将中型电源模块模块供求平衡二合一化到机载操控器内（熟的 STP-iXA2205 编作品的新）。 该泵的程度相等 STP-A2203C 的程度，也相等 STP-iXA2205 编作品（没有其电源模块模块供求平衡 (iPS-1200)）的程度。 哪一二合一化的物料更易进行安装且拆迁赔偿建筑面积小，可当为适用道具的二合一化防止策划方案。
用途
轻金属（铝）、钨和电媒介（硫化物）已经多晶硅等铝离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子技术旋回共振现象 (ECR) 刻蚀
聚酰亚胺膜沉淀 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
正离子赋予源，射束线泵送混凝土和站
特性与优势
宽敞型制作，以及模块化的控住器
性自感知磁性滑动轴承软件
字母化 5 轴管控
与目前拥有涡轮机泵差距共振职别减轻了 50%
会系统配置为正常运作耐腐蚀影响制造
臭氧层流适于于在 15-25 °C 相互的油放置冷却的温度下间隔地泵 N2 或 Ar 实验室气体，同时的使用前级泵（10,000 l/min 的大小）的症状。 它会随水平转变而转变。
STP-iXA2206 编作品磁浮窗增压原子泵可提供了行业内的功效，可将中型电源模块模块供求平衡二合一化到机载操控器内（熟的 STP-iXA2205 编作品的新）。 该泵的程度相等 STP-A2203C 的程度，也相等 STP-iXA2205 编作品（没有其电源模块模块供求平衡 (iPS-1200)）的程度。 哪一二合一化的物料更易进行安装且拆迁赔偿建筑面积小，可当为适用道具的二合一化防止策划方案。
用途
轻金属（铝）、钨和电媒介（硫化物）已经多晶硅等铝离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子技术旋回共振现象 (ECR) 刻蚀
聚酰亚胺膜沉淀 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
正离子赋予源，射束线泵送混凝土和站
特性与优势
宽敞型制作，以及模块化的控住器
性自感知磁性滑动轴承软件
字母化 5 轴管控
与目前拥有涡轮机泵差距共振职别减轻了 50%
会系统配置为正常运作耐腐蚀影响制造
统计资料
| 吃下法兰片宽度 | ISO250F/VG250/ICF305 |
| 前级抽气口大小 | KF40 |
| 抽速 N2/Ar | 2200/1900 ls-1 |
| 压解比 N2/H2 | >108 / 1 x 104 |
| 超凡心理压力 | 10-7 Pa (10-9 Torr) |
| 准许的前级压差 | 266 Pa (2 Torr) |
| 包气流 N2 （仅散热） | 3000 sccm |
|
|
(5.07 Pam3s-1) |
| 典雅流 Ar （仅水冷散热） | 1400 sccm |
|
|
(2.36 Pam3s-1) |
| 額定速度快 | 27000 rpm |
| 高速运转到 90% 額定线速度的精力 | <8 半小时 |
| 规定定位 | 任何人导向 |
| 显示电阻 | 200-240 V |
| 大输人输出功率（没有 TMS） | 1200 VA |
| 质量 | 62 kg |
臭氧层流适于于在 15-25 °C 相互的油放置冷却的温度下间隔地泵 N2 或 Ar 实验室气体，同时的使用前级泵（10,000 l/min 的大小）的症状。 它会随水平转变而转变。