货品详情介绍
  • 产品名称:B90003130 BGV气动真空插板阀 ISO100

  • 产品型号:B90003130
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
B90003130 BGV气动真空插板阀 ISO100 B90003130 BGV气动真空插板阀 ISO100
详情介绍:
论述
BGV 底下通道室插板阀都是系列作品由不透钢制作,用气泡管密闭的底下通道室防护隔离阀。其是与 VAT 协同合作设置的,能使泵在前级管路保养这段时长内仍在程序上班,关键在于使在严格生产工艺中程序上班的泵更具高的性和合适程序上班时长。BGV 阀适宜于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar()(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的上班各种的压力空间。这样的阀在其他方位都能顶住 1.2 bar 的各种的压力,并可顶住阀密闭下边 1 bar 的差压。

固然 BGV 阀基本应运在隔離半导体设备服装厂地面厂区室内的泵,但等等阀也适应运在已经打响时须要 1 bar 差压并充许 20000 次循坏的另外的应运公共场合。

模块和优势与劣势
与封密先行者 VAT 战略合作。
不锈钢板型式,运用拥有的装修设计,应用
简易的隔膜真空泵脂装置大水平可以减少了多尘生产工艺因其粒子导致的破坏
都可以在 1 bar 差压下作业,为此不用进行压差和平
维修费简便,只要有的易耗品,低操作生产成本
外表面润滑,更易清洗
出具时已装置螺线管和电线电缆,有助网上订购和装置

即插即用,在施用必选的 BGV TIM 接口标准缆线的现状下与🔜 Edwards 半导体器件干泵兼容。


数据信息

遗漏值
  泵壳 < 1 x 10-9 mbar ls-1
  阀块 < 1 x 10-7 mbar ls-1
学习压力依据 1 x 10-9 mbar 至 1.2 bara
插板上的压力 1.2 bar(在某个方面上)
打開时的压差大 1 bar
**维护保养前的反复数 5, 000
高岗位室内温度
  阀体 120 °C
  一键运行器 80 °C
  手动运行器 80 °C
  方位技巧器 60 °C
  螺线管阀 50 °C
分子结构流电导
  NW50 300 ls-1
  ISO63 400 ls-1
  ISO80 1100 ls-1
  ISO100 1700 ls-1
  ISO160 4600 ls-1
权重
  NW50 3.3 kg (7.3 lbs)
  ISO63 6.6 kg (14.6 lbs)
  ISO80 7.0 kg (15.4 lbs)
  ISO100 8.5 kg (18.7 lbs)
  ISO160 17.7 kg (39.0 lbs)
結构文件:
  电机外壳 AISI 304 不锈钢管
  阀盖 黄色阳极化铝
  插板 AISI 304 不锈钢装饰管
  助滑器 PEEK
  纹线管 AISI 633 装饰管
  封口件 氟聚氨酯材料
  插板特定螺丝 A2 不透钢 Ni-teflon 玻璃镀膜
  手柄 增强甲基丙烯酸酯
汽动阀
螺线管阀电机额定功率值
  条件螺线管阀 24V - 15%/+ 10%,整流/联席会,2.4 W
位址的指示仪接点电机额定功率值 12 - 30 V 直流电源/交流电,大 500 mA,大 10 W
油路分配器集中供热
  批发商压强 58 psig(4 bar 压表压,5 bar 压,5 x 105 Pa)
  大制造有压力 100 psig(7 bar 压表压,8 bar 压,8 x 105 Pa)
气动平衡直接头 R1/8 5厘米(阀的 1/8 5厘米 NPT 在采购)

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