企业产品详细情况
  • 产品名称:B90003110 BGV气动真空插板阀 ISO63

  • 产品型号:B90003110
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
B90003110 BGV气动真空插板阀 ISO63 B90003110 BGV气动真空插板阀 ISO63
详情介绍:
简述
BGV 地上层室插板阀就是型号由铝合金加工成,用气泡管抽真空圈的地上层室隔离霜阀。这句话是与 VAT 合作设计构思的,不错使泵在前级地埋管维护与保养这段的时间重新程序运转,最终得以使在严酷生产工艺中程序运转的泵体现了高的性和正常值程序运转的时间。BGV 阀使用在于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar()(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的业务学习重压标准。一种阀在其中方面都不错忍受 1.2 bar 的学习重压,并可忍受阀抽真空圈双侧 1 bar 的差压。

固然 BGV 阀重点使用隔離半导体芯片制造厂地下室室内吊顶的泵,但等等阀也适使用开始需要要 1 bar 差压并限度 20000 次循环往复的一些使用公开场合。

功用和优越性
与密封垫倡导者 VAT 合作方式。
装饰管结构的,选用取得的方案,采用
简洁的隔膜真空泵脂公司大因素少了多尘生产工艺时因颗粒使得的破坏
能够在 1 bar 差压下启动,之所以需做工作压力稳定
处理便宜,只想要的易耗品,低程序运行资金
单单从表面竖直,利于擦洗
出具时已装螺线管和线路,尽可能使购买和装

即插即用,在食用供选择的 BGV TIM 主板接口低压电缆的环境下与 Edwar𒊎ds 半导体材料干泵兼容。


数据源

氯气泄露值
  外壳 < 1 x 10-9 mbar ls-1
  阀块 < 1 x 10-7 mbar ls-1
的压力区域 1 x 10-9 mbar 至 1.2 bara
插板上的压力差 1.2 bar(在某个方面上)
打开网页时的差压 1 bar
**需要维护检修前的循环法数 5, 000
高岗位摄氏度
  阀体 120 °C
  一键运行器 80 °C
  油路分配器执行命令器 80 °C
  位子提示器 60 °C
  螺线管阀 50 °C
原子流电导
  NW50 300 ls-1
  ISO63 400 ls-1
  ISO80 1100 ls-1
  ISO100 1700 ls-1
  ISO160 4600 ls-1
总重量
  NW50 3.3 kg (7.3 lbs)
  ISO63 6.6 kg (14.6 lbs)
  ISO80 7.0 kg (15.4 lbs)
  ISO100 8.5 kg (18.7 lbs)
  ISO160 17.7 kg (39.0 lbs)
结构涂料:
  电机外壳 AISI 304 不绣钢
  阀盖 藏青色阳极化铝
  插板 AISI 304 不绣钢
  助滑器 PEEK
  波浪纹管 AISI 633 不锈钢管
  封好件 氟产品
  插板固定住螺柱 A2 不锈钢圆管 Ni-teflon 电镀
  手柄 强化装备丙烯酸树脂
气动弹簧阀
螺线管阀额定容量值
  要求螺线管阀 24V - 15%/+ 10%,交流活动电/交流活动,2.4 W
的位置的指示仪接点固定值 12 - 30 V 直流变压器/沟通,大 500 mA,大 10 W
气动弹簧供氧
  供货有压力 58 psig(4 bar 压强表压强,5 bar 压强,5 x 105 Pa)
  大销售压力值 100 psig(7 bar 心理水表心理心理压力差,8 bar 心理心理压力差,8 x 105 Pa)
汽动直接头 R1/8 屏幕尺寸(阀的 1/8 屏幕尺寸 NPT 在订货)

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