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Edwards推出iXH500H干泵系列

日期:2021-05-28 02:11
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摘要:全球的真空和尾气处理设备及服务供应商Edwards公司扩展其广受欢迎的应用于严苛工艺的iXH产品系列,新推出iXH500H系列干泵。新的500m3/h干泵系列针对需要较高气体流量和灵活泵温范围的平板显示器、太阳能和半导体工艺而优化,具有较低的能耗和较长的平均维护间隔时间(mean time between servicing, MTBS),从而降低了成本,同时具备iXH450系列的小占位面积和氢气抽取能力。 Edwards平板显示器(FPD)和太阳能部门干泵产品经理Allister Watson博士表示:“iXH家族的新增系列设计用于应对平板显示器、太阳能和半导...
全世界的真空环境和尾气排放除理专用设备及服务的出售商Edwards公司映射其倍受受欢迎的用于苛刻技术的iXH企业产品全系类表,新投入市场iXH500H全系类表干泵。新的500m3/h干泵全系类表针对于还要较高空气视频流量和利索泵温规模的平板手机信息三星显示屏、太阳穴能和半导技术而优化调整,兼有较低的耗电和较长的月均检修间格周期(mean time between servicing, MTBS),得以大大减少了成本价,另外遵循iXH450全系类表的小占位占地面和氧气获取程度。

EdwardsiPad显现器(FPD)和早上的日头热水器部分干泵护肤品经历Allister Watson教授带表:“iXH网络家族的新建国产设定在对待iPad显现器、早上的日头热水器和半导体技术加工制作加工过程 中问题的其他获取挑衅赛,可以调长泵的均匀维保区间时间段。目前即可即可,行业中欠缺具备对待这么多其他挑衅赛敏锐性的三合一化严厉加工制作加工过程 干泵。而iXH500H国产具备更敏锐地泵温度控制器制,可以要求这一项具体需求,也减低增至15%的水耗。因此相对于上代iXH干泵,iXH500H的成本费有效降低了30%。”

平板电脑苹果现示器、阳光直晒光能和半导体行业物料造成商食用的机械泵泵一定要适于的工做标准和物料。iXH500H国产都具有溫度智能化性,从而适用人群于诸如严峻技术技术设备。iXH500H国产在低泵温下运作,益处于食用高联通流量被蚀性气态的技术技术设备(诸如,FPD PECVD、透明膜阳光直晒光能PECVD、半导体行业物料MOCVD),或食用热敏前体(pre-cursor)(诸如原子结构层的堆积)也能在泵内放置副货品的技术技术设备。在有副货品物在泵内气液分离器投资风险(诸如高k电媒介的堆积)的的场合,不错取舍高工做溫度的泵。

Edwards现可提高iXH500H系类干泵,并提高从现今的iXH450系类转变成至iXH500H系类的服务的。
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