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Edwards发布用于LED和化合物半导体制造的真空泵

日期:2021-05-28 12:55
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摘要:全球的真空设备和尾气处理系统制造商及相应增值服务供应商Edwards公司宣布推出新的iXH645H干泵,新设备经过优化,适用于LED制造中使用的MOCVD工艺,以及在栅堆叠(gate stack)中使用III-V材料的化合物半导体制造工艺。请参观Edwards公司在InterSolar展会和SEMICON/West展会的5351号展台,以便了解有关iXH系列的更多信息。上述两个展会将于2012年7月10-12日在加利福尼亚州旧金山举办。 iXH645H提供了高的气流量,并能够在LED制造设备所需的高负载下连续工作。iXH系列干泵采用的,大限度地减少了维护...
欧洲的涡流机械机械设备和烟气办理操作系统开发商及及其保值的服务服务商商Edwards平台表态推出了新的iXH645H干泵,新机械机械设备 seo,常应用在LED开发中运用的MOCVD制作技艺,及其在栅堆叠(gate stack)中运用III-V资料的化学物质半导体材料开发制作技艺。请参观考察Edwards平台在InterSolar展销会和SEMICON/West展销会的5355号展厅设计,以供学习想关iXH编的很多新信息。以上两大展销会将于2015年3月10-12号在加利福尼亚州旧金山筹办。

iXH645H出具了高的气体流动量,并会在LED制作业设备需要的高载荷下连续性办公。iXH系统干泵用到的,大局限性地减掉了维护意愿,并达到平常执行期限大化,益于减低总成本。

Edwards电竞比赛app下载大全LED市厂经历邵伟称:“iXH系例干泵的新成員是制作代替需要满足多个短时间进展的高手工制造相关性市厂的各种需求。是因为有精湛的采光使用率,LED采光品牌渐次被当做白炽灯泡采光的优质使用考虑,.我看,、泰国、和近经由法律,将不断陶汰传统文化的大马力采光品牌。”

邵伟补道:“直接,在氧化物光电器件营造中利用III-V涂料,真正驱动摩尔法则(Moore’s Law)变更注册到下新一批来设计构件。”

LED和氧化物半导体技术制造厂新工艺流程一般来说动用大的流量氕气和高生锈性氯气。iXH645H久已做构思改进以拥有这个规定,都享有出众的氯气抽时刻性能参数并用于耐生锈构思,有一维护泵胶封垫物的离氮气吹扫防御体系(purge barrie🐬r)。XH645泵都享有气温作业能力,有助调控应该显示的磷氧化物空调蒸发器。与此一并,该泵的油润化和胶封垫减少了每季度护肤业务需求,一💮并其风扇散热和马达构思就可以调控显示过高、马达超负荷或作业部分受到限制等间题。iXH645H泵的改进溫度调控体系泵在约30分种启动的时刻内为新工艺流程加强开始准备。


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